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  • 简介:AComputationalStudyofGasPhaseChemistryinCarbonNanotubeSynthessbyPECVD;AfieldpointbasedapproachforsensorconditioninginMO-CVDreactors;AMethodforReal-TimeControlofThinFilmCompositionUsingOESandXPS;Amechanism-basedmodelofchemicalvapordepositionofepitaxialSi{sub}(1-x)Ge{sub}xflirts

  • 标签: 气相沉积 碳纳米管 合成工艺 场效应晶体管 传感性质
  • 简介:SY509-3-196[篇名]Anovelstrainedsurface-channelpMOSFETSi{sub}0.7Ge{sub}0.3withanALDTiN/AI{sub}20{sub}3/HfAIO{sub}x/AI{sub}20{sub}3gatestack;SY509-3-197[篇名]Aquantitativestudyofthenano-scratchbehaviorofboronandcarbonnitridefilms;……

  • 标签: 气相沉积 硅锗薄膜 生长工艺 碳氮薄膜
  • 简介:[篇名]1.55-umsilicon-basedreflection-typewaveguide-integratedthermo-opticswitch,[篇名]120×90ElementThermoelectricInfraredFocalPlaneArraywithPreciselyPatternedAu-blackAbsorber,[篇名]4H-SiCEpitaxialGrowthfcrHigh-PowerDevices,[篇名]A90nmgenerationcopperdualdamascenetechnologywithALDTaNbarrier,[篇名]Acomparativemicrotribologicalinvestigationofdiamond-likecarbonfilmsforapplicationsinmicrosystems,[篇名]Acomparisonofmicrocrystailinesiliconpreparedbyplasma-enhancedchemicalvapordepositionandhot-wirechemicalvapordeposition:electronicanddeviceproperties.

  • 标签: 气相沉积 波导开关 热光折射 长度优化 晶体生长
  • 简介:过去多年以来,在减少氟化物的排放方面,半导体业行业一直处于领先地位。在沉积反应器清洗上,人们研究了许多替代性的的气体和工艺方法,但是,由于这些原料供应短缺,或者需要用高压钢瓶运输,或者有造成显著的温室效应的可能,所以这些方法都不是很理想。

  • 标签: 半导体业 原料供应 行业 领先地位 替代性 短缺
  • 简介:纳米金刚石薄膜的沉积实验在自行研制的热丝化学沉积系统上完成。基体为金刚石微粉研磨和酸蚀后的硬质合金片,反应气体为CH4和H2混合,V(CH4):V(H2)=1%-4%,基体温度800-1000℃,沉积时气压为0.8~2.0kPa。SEM观察表明,影响金刚石膜的表面形貌及粗糙度的关键参量是基体温度、反应气压及含炭气体的浓度,这些参数都会影响到薄膜的纯度、结晶习性和晶面完整性。沉积纳米金刚石薄膜工艺是通过高密度形核以及抑制金刚石膜在沉积过程中的晶粒长大来实现的。

  • 标签: 化学气相沉积系统 纳米金刚石薄膜 热丝法 反应气体 基体温度 金刚石膜
  • 简介:以TiC14为源物质采用常压化学沉积法制备了TiO2薄膜。用紫外光谱测定了膜的透过率,进而计算出折光率、消光系数、光学带隙能等光学参数。结果发现,在不同气流量、沉积温度为100~250℃的条件下制备的TiO2膜,其折射率在2.16~2.82范围内,消光系数在0.04×10-3~6.70×10-3范围内,光学带隙能在2.8~3.08eV范围内。在光催化作用下,TiO2膜用于处理苯酚溶液,苯酚的转化率高达54.05%。关键词##4化学沉积(CVD);沉积率;折光率;消光系数;光催化更多还原

  • 标签: 化学气相沉积(CVD) 沉积率 折光率 消光系数 光催化
  • 简介:静压法合成的单晶人造金刚石和人造金刚石微粉,就品种,技术条件,包装,杂质检验,抗压强度测定方法,粒度组成等有关问题,已经建立了国家标准。化学沉积法制取的金刚石膜因出现的时间短还未建立起有关标准。化学沉积金刚石膜的方法有热丝法,微波法和直流电弧等离子体喷射法三类,本文就直流电弧等离子体喷射化学沉积的自支撑人造金刚石膜标准的制定中应考虑到的一些问题提出了我们的看法。

  • 标签: 化学气相沉积 金刚石膜 标准 制定 静压法
  • 简介:1前言樟脑学名为莰酮-2,主要从樟树科植物樟树中制取。樟脑不仅可供药用,而且也是香料、化工、国防等工业的重要原料,仅靠天然品远不能满足需要。因此,目前很大部分樟脑均为人工合成。天然樟脑是右旋体,合成品是消旋体,但两者在医疗及工业用途上无差异。我国每年都有一定数量的樟脑出口。现行樟脑的检验标准系采用重量法测定含量,方

  • 标签: 气相色谱仪 天然樟脑 合成樟脑 质谱分析 重量法测定 满足需要
  • 简介:一种激光化学沉积金刚石膜的方法,最低沉积温度为250℃,其特征在于选用波长在308nm的XeCl准分子激光作激光源,过程如下:将欲沉积衬底放在高导热率材料的工作台上,用XeCl准分子激光辐照衬底欲沉积金刚石膜区,并在预抽真空的反应室中通入能吸收该激光波长的碳氢化合物反应(含汽化液体或固体)和氢气。

  • 标签: 激光化学气相沉积 工作台 金刚石膜 反应室 沉积温度 衬底
  • 简介:通过比较关键井的测井数据,取心资料及其它地质信息,提出了识别河流沉积5种微的测井曲线形态,利用高分辨率倾角测井和人工神经网络技术,处理了研究区的测井资料,结合曲线形态分析,对河流沉积的测井识别提出了一些新的方法和观点,并与地质家的结论吻合较好。

  • 标签: 综合利用 测井资料 河流 沉积微相 测井曲线 高分辨率倾角测井
  • 简介:水下斜坡和斜坡底部沉积体系是大多数海洋和湖泊盆地充填的主要组成,并且构成了油气勘探和开发的主要目的层。7个基本岩相建造单元构成了斜坡体系:(1)浊积岩河道充填;(2)浊积岩叶状体,(3)席状浊积岩;(4)滑块、滑塌和碎屑流席、叶状体及舌榫;(5)细粒浊积岩和席状沉积物;(6)平积岩堆积物;(7)半深海披盖和充填。补给沉积物的粒径是对河道及叶状体形态、滑塌和碎屑流沉积物的尺度及重要性的主要控制因素。硅质斜坡体系有两个常规系列。堆积(移积的)体系包括扇、冲积裙和盆地底河道,组成了上覆三角洲、海岸带、大陆架或冰川体系。根据沉积物结构和补给大陆架物源的模式联合确定出移积体系的岩相结构。点源建造了沉积扇;线源建造了叫做斜坡裙的走向拉长的三角图状斜坡沉积物。大陆架边缘三角洲提供了一种特别普通的过渡物源几何形态,形成了退覆三角洲补给裙。内源体系(包括退覆裙、峡谷充填和大型滑塌复合体)记录了斜坡的再沉积和再建造的过程。

  • 标签: 沉积体系 硅质碎屑 底部 沉积相 盆地充填 分类
  • 简介:介绍了用于炼厂分析的不同方法.包括单台多维色谱系统、两台色谱分析系统和三台色谱分析系统,比较结果指出:单台色谱多阀多柱切换的多维色谱分析系统是炼广分析的主要方法,具有操作简单,数据可靠的优点,尤其四阀五柱TCD、FID检测器系统具有更大检测范围和较高的检测灵敏度。

  • 标签: 系统 多维 检测范围 数据 谱系 操作
  • 简介:(一)防锈缠绕薄膜的技术要求缠绕薄膜又称弹性膜,还称自粘膜、拉伸膜。它实际是一种在使用时可以利用薄膜自身具有的粘弹性拉伸缠绕,靠薄膜表面的粘弹性和使用时使用的拉张力把物品紧紧的包裹起来,达到保护商品的目的。把防锈技术和缠绕膜技术有机的结合起来,即制得气防锈缠绕薄膜。

  • 标签: 气相防锈技术 薄膜表面 缠绕 生产方法 拉伸膜 粘弹性