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气相沉积

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摘要 AComputationalStudyofGasPhaseChemistryinCarbonNanotubeSynthessbyPECVD;AfieldpointbasedapproachforsensorconditioninginMO-CVDreactors;AMethodforReal-TimeControlofThinFilmCompositionUsingOESandXPS;Amechanism-basedmodelofchemicalvapordepositionofepitaxialSi{sub}(1-x)Ge{sub}xflirts

DOI zdl12onp4l/333388

作者

机构地区不详

出处《表面工程：英文版》 2005年2期

关键词气相沉积碳纳米管合成工艺场效应晶体管传感性质

分类 [金属学及工艺][金属表面处理]

出版日期 2005年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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