简介:AComputationalStudyofGasPhaseChemistryinCarbonNanotubeSynthessbyPECVD;AfieldpointbasedapproachforsensorconditioninginMO-CVDreactors;AMethodforReal-TimeControlofThinFilmCompositionUsingOESandXPS;Amechanism-basedmodelofchemicalvapordepositionofepitaxialSi{sub}(1-x)Ge{sub}xflirts
简介:[篇名]1.55-umsilicon-basedreflection-typewaveguide-integratedthermo-opticswitch,[篇名]120×90ElementThermoelectricInfraredFocalPlaneArraywithPreciselyPatternedAu-blackAbsorber,[篇名]4H-SiCEpitaxialGrowthfcrHigh-PowerDevices,[篇名]A90nmgenerationcopperdualdamascenetechnologywithALDTaNbarrier,[篇名]Acomparativemicrotribologicalinvestigationofdiamond-likecarbonfilmsforapplicationsinmicrosystems,[篇名]Acomparisonofmicrocrystailinesiliconpreparedbyplasma-enhancedchemicalvapordepositionandhot-wirechemicalvapordeposition:electronicanddeviceproperties.
简介:摘要院钻探机具,要带有最优的耐磨特性,以及最优的耐蚀特性;在苛刻的态势下,也应妥善运转。钻探机具固有的表面性能,涵盖了配件的耐磨特性。载能粒子惯常的沉积状态,关涉着摩擦薄膜特有的构架问题。要提升配件原有的耐磨特性,就应提高机具表层硬度,用气相沉积技术,接纳复合架构下的、多层级高结合力的层积思路,制备出硬度较高的表层。这样制备好的润滑薄膜,带有独特构架及特有的性能,能提快原有的钻探速率,供应可用的新技术。
简介:以溶胶凝胶和交联固化相结合方法制备的羟基硅油/二乙烯基苯(OH—TS0/DVB)复合涂层为萃取头,采用顶空固相微萃取与气相色谱联用的方法测定空气和水中的沙林。对影响空气和水中沙林固相微萃取的条件进行了优化。与商用PDMS,PDMS/DVB探头相比,该探头对沙林具有更高的灵敏度和更强的选择性。空气中沙林的检测限约为0.01μg·L^-1,相对标准偏差为3.61%,在浓度为1.6—800μg·L^-1范围内成线性。水中沙林的检测限为0.25μg·L^-1,相对标准偏差为1.23%,在浓度为4—2000μg·L^-1范围内成线性,方法准确度高,回收率为93.75%.
简介:采用化学气相沉积法(chemicalvapordeposition,简称CVD)不仅可以制备金属粉末,也可以制备氧化物、碳化物、氮化物等化合物粉体材料。该法是以挥发性的金属卤化物、氢化物或有机金属化合物等物质的蒸气为原料,通过化学气相反应合成所需粉末,因其制备的粉末纯度高,比表面积大,结晶度高,粒径分布均匀、可控,在粉体材料制备方面的应用日趋广泛。该文主要介绍CVD技术制粉的形成机理和研究进程。CVD法制粉主要包括化学反应、晶核形成、粒子生长以及粒子凝并与聚结4个步骤。按照加热方式不同,CVD技术分为电阻CVD、等离子CVD、激光CVD和火焰CVD等,用这4种技术制备超细粉末各有其优缺点,选择合适的气源,开发更为安全、环保的生产工艺,以及加强尾气处理是使CVD法制备超细粉体材料付诸于工业应用的重要保证。
简介:采用金属有机化学气相沉积法在Si(111)衬底上生长了AlN外延层。高分辨透射电子显微镜显示在AlN/Si界面处存在非晶层,俄歇电子能谱测试表明Si有很强的扩散,拉曼光谱测试表明存在Si-N键,另外光电子能谱分析表明非晶层中存在Si3N4。研究认为MOCVD高温生长造成Si的大量扩散是非晶层存在的主要原因,同时非晶Si3N4层也将促使AlN层呈岛状生长。