首页 > 《表面工程：英文版》 > 2005年3期 > 气相沉积

气相沉积

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要 SY509-3-196[篇名]Anovelstrainedsurface-channelpMOSFETSi{sub}0.7Ge{sub}0.3withanALDTiN/AI{sub}20{sub}3/HfAIO{sub}x/AI{sub}20{sub}3gatestack；SY509-3-197[篇名]Aquantitativestudyofthenano-scratchbehaviorofboronandcarbonnitridefilms；……

DOI wjv51geqd7/344102

作者

机构地区不详

出处《表面工程：英文版》 2005年3期

关键词气相沉积硅锗薄膜生长工艺碳氮薄膜

分类 [金属学及工艺][金属表面处理]

出版日期 2005年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1. 气相沉积.金属表面处理,2005-05.
2. 气相沉积.金属表面处理,2005-06.
3. 气相沉积.金属表面处理,2005-02.
4. 气相沉积.金属表面处理,2005-01.
5. 气相沉积.金属表面处理,2005-04.
6. 氟气—清洗化学气相沉积.无机化工,2005-01.
7. 韧化的化学气相沉积金刚石.刀具与模具,2004-05.
8杨英惠（摘译）. 用薄膜气相沉积法制成的坚固玻璃.材料科学与工程,2007-10.
9崔志霖. 化学气相沉积石墨烯薄膜的洁净分析.建筑技术科学,2020-09.
10姜英;王友林. 气相沉积涂层技术与模具表面强化处理.刀具与模具,2004-01.

来源期刊

表面工程：英文版

2005年3期

气相沉积

来源期刊

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

气相沉积

来源期刊

相关推荐

同分类资源 更多

相关关键词

同分类资源更多