简介：过去多年以来，在减少氟化物的排放方面，半导体业行业一直处于领先地位。在气相沉积反应器清洗上，人们研究了许多替代性的的气体和工艺方法，但是，由于这些原料供应短缺，或者需要用高压钢瓶运输，或者有造成显著的温室效应的可能，所以这些方法都不是很理想。

简介：低压化学气相淀积(LPCVD)设备主要为微电子机械系统(MEMS)在硅基片上淀积Si3N4、Poly-Si(多晶硅)、SiO2薄膜。承担形成微传感器和微执行器的抗蚀层、结构层和牺牲层的加工任务。是MEMS技术中的主要生产工序之一，也可以用于集成电路钝化膜制备。

简介：

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简介：AComputationalStudyofGasPhaseChemistryinCarbonNanotubeSynthessbyPECVD;AfieldpointbasedapproachforsensorconditioninginMO-CVDreactors;AMethodforReal-TimeControlofThinFilmCompositionUsingOESandXPS;Amechanism-basedmodelofchemicalvapordepositionofepitaxialSi{sub}(1-x)Ge{sub}xflirts

简介：SY509-3-196[篇名]Anovelstrainedsurface-channelpMOSFETSi{sub}0.7Ge{sub}0.3withanALDTiN/AI{sub}20{sub}3/HfAIO{sub}x/AI{sub}20{sub}3gatestack；SY509-3-197[篇名]Aquantitativestudyofthenano-scratchbehaviorofboronandcarbonnitridefilms；……

简介：[篇名]1.55-umsilicon-basedreflection-typewaveguide-integratedthermo-opticswitch,[篇名]120×90ElementThermoelectricInfraredFocalPlaneArraywithPreciselyPatternedAu-blackAbsorber,[篇名]4H-SiCEpitaxialGrowthfcrHigh-PowerDevices,[篇名]A90nmgenerationcopperdualdamascenetechnologywithALDTaNbarrier,[篇名]Acomparativemicrotribologicalinvestigationofdiamond-likecarbonfilmsforapplicationsinmicrosystems,[篇名]Acomparisonofmicrocrystailinesiliconpreparedbyplasma-enhancedchemicalvapordepositionandhot-wirechemicalvapordeposition:electronicanddeviceproperties.

简介：

简介：摘要 ：化学气相沉积法（ CVD ）制备石墨烯广泛应用于工业生产中，但转移薄膜的过程会造成石墨烯污染，对石墨烯性能产生影响。基于此，本文先分析了污染物对石墨烯薄膜造成的影响，然后简单介绍了污染物，最后提出了提高石墨烯洁净度的技术。以期不断提高石墨烯洁净度，提高其质量和性能。

简介：1前言樟脑学名为莰酮-2,主要从樟树科植物樟树中制取。樟脑不仅可供药用,而且也是香料、化工、国防等工业的重要原料,仅靠天然品远不能满足需要。因此,目前很大部分樟脑均为人工合成。天然樟脑是右旋体,合成品是消旋体,但两者在医疗及工业用途上无差异。我国每年都有一定数量的樟脑出口。现行樟脑的检验标准系采用重量法测定含量,方

简介：在包含有毒化学溢物流、地下储罐的泄漏、化学废料堆的场所需要长期监测，目的是降低人类健康和环境的风险。目前的监测方法费用昂贵而且时间集中，采样和分析技术存在局限性。野外人工取样的实验分析每个水样花费100—1000$(不包括采样的费用)，并且要协调样品采集、运输和储存过程中

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简介：采用化学气相沉积法（chemicalvapordeposition，简称CVD）不仅可以制备金属粉末，也可以制备氧化物、碳化物、氮化物等化合物粉体材料。该法是以挥发性的金属卤化物、氢化物或有机金属化合物等物质的蒸气为原料，通过化学气相反应合成所需粉末，因其制备的粉末纯度高，比表面积大，结晶度高，粒径分布均匀、可控，在粉体材料制备方面的应用日趋广泛。该文主要介绍CVD技术制粉的形成机理和研究进程。CVD法制粉主要包括化学反应、晶核形成、粒子生长以及粒子凝并与聚结4个步骤。按照加热方式不同，CVD技术分为电阻CVD、等离子CVD、激光CVD和火焰CVD等，用这4种技术制备超细粉末各有其优缺点，选择合适的气源，开发更为安全、环保的生产工艺，以及加强尾气处理是使CVD法制备超细粉体材料付诸于工业应用的重要保证。

简介：摘要：随着我国经济、科技的快速发展，HAPSITE作为一种新型便携式、微型化的气相色谱质谱联用机，适用于快速检测的有机污染化合物泄漏环境。针对空气中挥发性物质进行含量检测后，可以提高检测效果和监测速度，通过探究该仪器的使用特点、使用性能和技术生产架构后来分析检测化学危险品和销毁品中的应用实例，比较与传统实验室分析方法的优势和劣处，在探究与实践中带来更好的使用效益。

简介：摘要：本文论述了气相色谱-液相色谱技术（GC-LC）的改善策略，以提升化学纯度检测，从三个方面提出了一系列改进对策。技术改进包含参数调整、仪器设备特性改进、样品预处理方式改进、数据处理软件挑选设计和开发；方式改进包含样品制备全过程标准化、质量管理流程的建立完善，及其多维分析方式的引入与应用；管理模式包含人员管理和团队文化建设、资源优化配置与合作机制的建立，及其有关政策、规章制度制定和完善。这种方式有利于提升气相色谱液相色谱技术的应用化学纯度检测准确性、效率稳定性。

简介：以溶胶凝胶和交联固化相结合的方法制备了甲基丙烯酸丁酯／二乙烯基苯（BMA／DVB）复合涂层固相微萃取探头，采用固相微萃取与气相色谱联用的方法测定空气、水、土壤、粮食中的芥子气。并对自制探头的萃取效率、热稳定性、抗溶剂冲洗能力、使用寿命、保质期以及探头制备重现性等性能进行了系统研究。

简介：摘要：近年来，我国的化工行业有了很大进展，化学药物检测工作也越来越受到重视。气相色谱仪是化学药物中残留溶剂、小分子化工原料与试剂的最主要检测仪器，正确使用和妥善维护不仅可以保证检测结果的准确性，还可以延长仪器的使用寿命。仪器在运行过程中，由于药物的化学性质、实验环境以及人员的重复或不规范使用，都会有不同程度的损耗，所以日常的维护保养显得尤其重要。本文就气相色谱仪在化学药物检测中的日常维护与保养进行研究，以供参考。

简介：摘要：近年来，我国的化工行业有了很大进展，化学药物检测工作也越来越受到重视。气相色谱仪是化学药物中残留溶剂、小分子化工原料与试剂的最主要检测仪器，正确使用和妥善维护不仅可以保证检测结果的准确性，还可以延长仪器的使用寿命。仪器在运行过程中，由于药物的化学性质、实验环境以及人员的重复或不规范使用，都会有不同程度的损耗，所以日常的维护保养显得尤其重要。本文就气相色谱仪在化学药物检测中的日常维护与保养进行研究，以供参考。

简介：摘要：在化学药物检测中，一些分析测试平台可以采用物理、化学的或生物技术等方法对药物进行分析检测，为药品的生产和使用提供了保障。药物分析检测可研究药品及其制剂的组成、理化性质、真伪鉴别、纯度检查及测定其有效成分的含量，并保证人们用药、合理、有效。开展药物分析之前，需要配备适用的药品质量检测设备等仪器，这是保证药物质量检验工作开展的基础。在采用分析测试平台进行药物分析时，需要严格遵守检验操作流程，保证药品质量检测结果准确可靠。本文对气相色谱仪在化学药物检测中的日常维护与保养进行分析，以供参考。