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  • 简介:低压化学(LPCVD)设备主要为微电子机械系统(MEMS)在硅基片上Si3N4、Poly-Si(多晶硅)、SiO2薄膜。承担形成微传感器和微执行器的抗蚀层、结构层和牺牲层的加工任务。是MEMS技术中的主要生产工序之一,也可以用于集成电路钝化膜制备。

  • 标签: 低压化学气相淀积 微电子机械系统 硅基片 二氧化硅薄膜
  • 简介:一种包括粘结剂的碳化物基质经制备以便在其上接受切削材料如金刚石层。这种基质浸入电解液中,基质用作阳极,从而形成电解抛光的基质表面。然后腐蚀电解抛光的基质表面以基本除去碳化物基质的粘结剂

  • 标签: 电解抛光 硬质合金 碳化物 切削 表面 金刚石膜
  • 简介:过去多年以来,在减少氟化物的排放方面,半导体业行业一直处于领先地位。在沉积反应器清洗上,人们研究了许多替代性的的气体和工艺方法,但是,由于这些原料供应短缺,或者需要用高压钢瓶运输,或者有造成显著的温室效应的可能,所以这些方法都不是很理想。

  • 标签: 半导体业 原料供应 行业 领先地位 替代性 短缺
  • 简介:

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  • 简介:AComputationalStudyofGasPhaseChemistryinCarbonNanotubeSynthessbyPECVD;AfieldpointbasedapproachforsensorconditioninginMO-CVDreactors;AMethodforReal-TimeControlofThinFilmCompositionUsingOESandXPS;Amechanism-basedmodelofchemicalvapordepositionofepitaxialSi{sub}(1-x)Ge{sub}xflirts

  • 标签: 气相沉积 碳纳米管 合成工艺 场效应晶体管 传感性质
  • 简介:SY509-3-196[篇名]Anovelstrainedsurface-channelpMOSFETSi{sub}0.7Ge{sub}0.3withanALDTiN/AI{sub}20{sub}3/HfAIO{sub}x/AI{sub}20{sub}3gatestack;SY509-3-197[篇名]Aquantitativestudyofthenano-scratchbehaviorofboronandcarbonnitridefilms;……

  • 标签: 气相沉积 硅锗薄膜 生长工艺 碳氮薄膜
  • 简介:[篇名]1.55-umsilicon-basedreflection-typewaveguide-integratedthermo-opticswitch,[篇名]120×90ElementThermoelectricInfraredFocalPlaneArraywithPreciselyPatternedAu-blackAbsorber,[篇名]4H-SiCEpitaxialGrowthfcrHigh-PowerDevices,[篇名]A90nmgenerationcopperdualdamascenetechnologywithALDTaNbarrier,[篇名]Acomparativemicrotribologicalinvestigationofdiamond-likecarbonfilmsforapplicationsinmicrosystems,[篇名]Acomparisonofmicrocrystailinesiliconpreparedbyplasma-enhancedchemicalvapordepositionandhot-wirechemicalvapordeposition:electronicanddeviceproperties.

  • 标签: 气相沉积 波导开关 热光折射 长度优化 晶体生长
  • 简介:摘要 :化学沉积法( CVD )制备石墨烯广泛应用于工业生产中,但转移薄膜的过程会造成石墨烯污染,对石墨烯性能产生影响。基于此,本文先分析了污染物对石墨烯薄膜造成的影响,然后简单介绍了污染物,最后提出了提高石墨烯洁净度的技术。以期不断提高石墨烯洁净度,提高其质量和性能。

  • 标签: 化学气相沉积法 石墨烯薄膜 转移处理 洁净度
  • 简介:【摘要】为了提高现场低压工作效率,我们研发一种基于无线工频电场检测的低压方案仪器。

  • 标签: 电压 工频 相位 判断
  • 简介:在本文所述的仪器的反应炉表面的一部分或整个装置反应炉表面上,形成了一个窗口,X射线即喷射到反应炉面上的一层薄膜上(例如是磷化镓或磷化镓砷),这样X射线发生的散射线被检测出来。X射线发生器和检测器围绕着反应炉转动,这样使得薄膜与X射线间的夹角与薄膜与衍射线之间的夹角之比值保持2:1,使得研究者可以现场进行观测。(指对摆动曲线或者薄膜的晶格配置的观测)。

  • 标签: 反应炉 气相 薄膜 蒸气 发生器 X射线
  • 简介:1前言樟脑学名为莰酮-2,主要从樟树科植物樟树中制取。樟脑不仅可供药用,而且也是香料、化工、国防等工业的重要原料,仅靠天然品远不能满足需要。因此,目前很大部分樟脑均为人工合成。天然樟脑是右旋体,合成品是消旋体,但两者在医疗及工业用途上无差异。我国每年都有一定数量的樟脑出口。现行樟脑的检验标准系采用重量法测定含量,方

  • 标签: 气相色谱仪 天然樟脑 合成樟脑 质谱分析 重量法测定 满足需要
  • 简介:在包含有毒化学溢物流、地下储罐的泄漏、化学废料堆的场所需要长期监测,目的是降低人类健康和环境的风险。目前的监测方法费用昂贵而且时间集中,采样和分析技术存在局限性。野外人工取样的实验分析每个水样花费100—1000$(不包括采样的费用),并且要协调样品采集、运输和储存过程中

  • 标签: 传感器 有机污染物 微化学电阻 水污染 敏感聚合体 导电粒子
  • 作者: 王川 厉媛 刘稳 李轩毅 乔月华 戴春富
  • 学科: 医药卫生 >
  • 创建时间:2022-12-13
  • 出处:《中华耳鼻咽喉头颈外科杂志》 2022年第08期
  • 机构:徐州医科大学附属医院耳鼻咽喉头颈外科,徐州 221000,徐州医科大学附属医院影像科,徐州 221000,徐州医科大学附属医院耳鼻咽喉头颈外科,徐州 221000 徐州医科大学临床听力中心,徐州 221000 江苏省人工听觉工程实验室,徐州 221000,复旦大学附属眼耳鼻喉科医院耳科和颅底外科,上海 200031
  • 简介:摘要本文报道2例因头部外伤后出现平衡不稳及听力障碍,并且在影像学表现为内耳部分区域出现迷路的患者。例1:患儿女,3岁,因“车祸伤后出现平衡不稳,无法直立4 h”入院。颞骨高分辨CT提示:右侧颞骨岩部横行骨折;内耳中见气泡影,考虑为颞骨骨折伴前庭内积;听觉脑干诱发电位示双耳听力正常。给予抗感染、激素、营养神经等保守治疗好转后出院。出院后1个月随访,患儿的平衡不稳消失,听力无明显下降。例2:患者男,45岁,因“车祸伤后出现右耳聋、耳鸣、面瘫伴平衡不稳1周”来我院就诊。颞骨高分辨CT提示:颞骨骨折伴外半规管;内听道及面神经迷路段周围少许;纯音测听示右耳110 dB,极重度感音神经性聋。患者选择保守治疗,2个月后随访复查,患者外半规管仍存在,患者右耳仍为极重度耳聋,平衡不稳感无明显好转。

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  • 简介:《宋人画评》对赵貌卓其人评价甚高“亡其名,朴野不事修饰,故人以邈龊称,不知何许人也。善画虎,不惟得其形似,多气韵,具形似,夫气韵全而失形似,虽活而非;形似备而无气韵,虽似而死。二者具得惟貌卓焉。”别人看见文潞公所藏赵貌卓画的虎《伏崖高视图》与王郎所藏的《当风抵掌图》,看见的人都被其虎的威猛所惊服。然而这些画还都是摹本。真本被华州的王法掾收藏今御府所藏八:丛竹虎图三,

  • 标签: 画家 形似 气韵 摹本
  • 简介:摘要超声检查可明确显示肝内胆管的分布部位及其程度。肝胆管的主要声像图表现肝实质内沿门静脉或肝内胆管走行分布的线条状或树枝状强回声气体光带,紧贴胆管前壁,后方伴有稀疏浅淡的声影,呈“彗星尾”征。改变体位及深呼吸运动时气体光带回声随位置改变发生移动,呈闪烁样改变。超声可为临床明确病因和选择治疗方法提供帮助。

  • 标签: 超声 胆道积气 诊断