简介:目的利用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)技术,在钛合金表面制备含氮类金刚石薄膜(DLC∶N),并对其生物相容性进行研究。方法采用扫描电子显微镜、X-射线光电子能谱仪、接触角测量仪、拉曼光谱仪对样品的表面形貌特征、组成元素和表面润湿性进行表征;利用MTT比色法、荧光染色法进行生物学行为的评价。结果成骨细胞在掺氮类金刚石薄膜(DLC∶N)表面不论是增殖黏附状态还是细胞数量都优于其他实验组(P〈0.05)。结论在DLC中加入氮元素,能够提升其生物相容性,促进成骨细胞黏附和增殖。
简介:目的:采用脉冲电弧离子镀膜法于不同氮含量条件下在纯钛表面制备类金刚石膜(DLC)以观察对薄膜内应力和附着力的影响.方法:在四种氮含量条件下纯钛表面制备类金刚石薄膜,利用扫描电镜观察分析不同氮含量下薄膜的表面形貌及能谱分析薄膜成分,显微压痕仪对比分析不同氮含量对薄膜厚度和硬度的影响.结果:薄膜中氮含量与氮气甲烷流量比成正比,当氮含量达到9.6%时,薄膜性能最稳定.氮掺入DLC薄膜后,改变了薄膜的微观结构,产生几十纳米量级的颗粒.SEM、XPS分析表明纳米颗粒是富氮的非晶氮化碳CNx结构.DLC/CNx致密的纳米复合结构,减小薄膜的内应力,提高薄膜对衬底的附着力.结论:氮含量的增加会形成DLC/CNx致密的纳米复合结构,减小薄膜的内应力,提高薄膜对衬底的附着力.
简介:薄膜物理与制备技术研究对于惯性约束聚变(ICF)实验具有重要意义,2003年开展的研究工作主要包括几个方面的内容:低压等离子体化学气相沉积(LPPCVD)法微球CH涂层及掺杂(溴等)技术研究;脉冲激光沉积(PLD)法Fe/Al合金薄膜研制;磁控溅射法Au/Gd,Ti/A1,Ti/Cr支撑薄膜研制;碳氢氮(CxNyH1-x-y)薄膜制备技术研究。相应主要结果如下:(1)利用低压等离子体化学气相沉积(LPPCVD)装置深入考察了以反式-2-丁烯如下: