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在铝极氮化铝衬底上生长氮化镓薄膜的分子动力学模拟

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摘要摘要：

DOI rdx60k35dl/6703301

作者胡茂

机构地区重庆交通大学重庆市 400000

出处《科学与技术》 2022年17期

关键词分子动力学氮化镓薄膜氮化铝衬底晶体质量

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2022年12月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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