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利用原子层沉积方法制备掺铝氧化锌薄膜
利用原子层沉积方法制备掺铝氧化锌薄膜
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摘要
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DOI
pd5n73nld7/2950471
作者
侯婧文
机构地区
侯婧文
出处
《文化研究》
2015年10期
关键词
原子层沉
掺铝
氧化锌薄膜
Si
实验
分类
[文学][中国文学]
出版日期
2015年10月20日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
文化研究
2015年10期
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