简介：日本东京大学生产技术研究所藤田博之研究室和法国国立科学研究中心(CNRS)合作，利用微机械技术试制出超小型光矩阵开关。该开关用静电工作的微透镜阵列来改变自由空间传输的光束方向，以进行光输入输出问的多个转换。其特征是比起利用非线性光学效应的已往的固体式光开关，长宽尺小1/10多，消光比高，串音减。

简介：摘要：微机械制造工艺是我国现代化工制造的重要模块。微细切削加工技术与微机械制造技术的研发，扩大了机械化的影响范围。基于此，具体介绍了微细车削、微细铣削、超微细切削这三项微机械细切削加工技术，并详细阐述了VisionProPC、印刷电路+MEMS、纳米载体这几种微机械制造工艺，分析了促进微机械和制造行业的可持续发展的方向，希望能够为微机械制造领域的发展提供参考。

简介：介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理,给出了硅微机械谐振式陀螺仪的动力学方程详尽推导.针对此方程进行仿真研究,对结构设计参数进行了估计.研究表明,硅微机械谐振式陀螺仪是一种很有发展前途的新型陀螺仪.

简介：摘要：

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简介：介绍了一种安装在旋转体上,用于旋转体姿态控制的新型微机械陀螺。陀螺利用旋转载体的滚转获得角动量,当载体发生偏航或俯仰,敏感质量块受到周期性哥氏力的作用,从而敏感载体的偏航或俯仰角速度。飞行试验中舵机的舵偏打容易使陀螺发生共振,陀螺输出信号无法满足旋转载体姿态控制的要求。针对这一问题,需精确测量陀螺的固有频率。首先基于陀螺运动方程分析了其幅频特性和固有频率,并利用数值计算软件进行了仿真,最后提出了一种对该陀螺幅频特性的测量方法,得到了幅频特性曲线,确定了固有频率70Hz。实际测量的幅频特性曲线和仿真曲线一致,测量的固有频率相对于舵偏打产生的共振频率点误差为2.1%,通过避开测得的70Hz固有频率,获得了符合姿态控制要求的陀螺输出信号。

简介：摘要微电子机械系统的基础是微纳米技术，这种加工技术就是对微纳米材料的加工和制造，而硅微机械加工工艺是在集成电路工艺发展的基础上得以发展的微电子机械系统技术。本文首先对微电子机械系统进行概述，提出三种不同的微电子机械系统的加工方法，最后，分析了硅微机械加工工艺的多种不同的工艺方法。

简介：随着国防工业、航空航天、现代医学以及微电子工业的发展下，对于超精密微机械制造技术也提出了更高的要求，随着技术的成熟，超精密微机械制造技术的发展取得了质的突破。本文介绍了超精密微机械制造技术的概念，并针对超精密微机械制造技术的应用进展进行阐述。

简介：线振动MEMS陀螺在大载荷条件下,驱动轴与检测轴的谐振频率会发生漂移,频差随载荷变大。这类型振动陀螺为了提高灵敏度往往将两个振动轴的谐振频率设计得尽量靠近,但当角速率载荷较大时,两个振动轴的谐振频率将发生分裂漂移,彼此互相远离。漂移量与向心加速度无关,近似与角速率载荷的平方成正比,且两轴的谐振频率越靠近漂移越剧烈。考虑到Coriolis效应的弹簧质量块二维振动数学模型可定量描述该现象,表明此现象为线振动陀螺Coriolis效应的一部分。理论分析、仿真研究和实验数据的不同角度对这种频率漂移特性的分析结果吻合良好,为进一步结构优化奠定了理论基础。

简介：摘要现代机械制造工艺与超精密微加工技术的应用对我国的机械制造业具有深远的影响。本文首先简要介绍了现代机械制造工艺与超精密微加工技术特征，随后分析了现代机械制造工艺与超精密微加工技术的应用，希望这些观点能够有效促进我国机械制造业的可持续健康发展。

简介：<正>基于微电子机械系统的可调谐滤波器和垂直腔表面发射激光器具有宽的连续调谐范围、无偏振灵敏工作和二维陈列集成的独特性能,因而已引起极大关注。但它的一大缺点是需要几十伏的调谐电压,此外由于微机械悬臂是通过静电力向下移动,其实际移动距离仅为实际宽度1/3,所以这种采用静电力的MEMS基滤波器的最大调谐范围受到限制。日本东京技术研究所的微系统研究中心首次研制成功一种具有低调谐电压的新型GaAlAs/GaAs微机械热调谐垂直腔滤波器,由于热应变控制层与加热元件的集成,具有创记录的低至4.7V的调谐电压,并可获得23.2nm的波长调谐。该器件是在上下两层GaAlAs/OaAsDRB之间形成一个空气隙,在上GaAlAs/GaAsDRB上有GaAs或GaAlAs热应变控制层,当施加电压时热应变导致微机械悬臂的移动。当热应变控制层为热膨胀系数较小的GaAlAs时,悬臂向上移动。反之,为热膨胀

简介：摘要：随着计算机技术的不断发展，计算机在机械设计与制造中的应用越来越广泛，以计算机为核心的各种设备正逐渐替代传统的手工操作。计算机技术的发展，使得现代机械设计和制造发生了重大变革，逐渐形成了一种全新的设计制造模式。微机技术是当今世界上发展最快、应用最广泛、最成熟、最具代表性的新技术之一。微机技术是在传统机械制造基础上发展起来的，其本身就具有较高的综合技术水平，在机械设计和制造中有着不可替代的作用。微机技术是在60年代末70年代初迅速发展起来的，随着微电子技术和计算机技术的快速发展，微系统、嵌入式系统、微型化系统等概念在机械设计与制造中被广泛地应用。

简介：摘要：当下，在我国机械制造业现代化的背景之下，该行业取得了一定的成功，同时，该行业的制造水平也在不断提升。而精密加工技术应用到机械制造工艺中，有着良好的优势。面对新的发展形势，分析当前机械制造工艺的变化以及精密加工技术的应用产生的价值，可使生产企业明确认识到必须对机械制造进行改革，加强对各类智能化和专业化技术的应用。

简介：阐明了所研制的微机械陀螺可用于检测旋转体的自旋频率。首先，根据微机械陀螺结构特点和工作原理得出陀螺榆出信号的频率取决于陀螺敏感轴和偏转方向之间夹角的变化，进而得到微机械陀螺输出信号频率与旋转体自旋频率之间的关系。其次，在旋转体处于恒值运动、角振动运动、圆周运动和椭圆运动等四种基本运动形式下，分别建立了陀螺测量旋转体自旋频率的数学模型，并采用加速度计输出为基准信号，推导出陀螺输出信号频率与旋转体自旋频率、运动形式、运动频率、运动方向之间的关系。最后，利用三轴转台模拟旋转体的四种运动形式，并将陀螺输出信号和加速计输出信号进行频谱分析。试验结果表明，理论分析与试验结果相吻合，该微机械陀螺可用于测量旋转体自旋频率。

简介：微机械陀螺仪是微机电系统(MEMS)研究的重要内容.双输入轴微机械陀螺仪可最大限度地发挥微结构的固有功能并实现最低成本.本文综合了国内外在这方面的主要研究报道,概述各自的结构、工艺、测试和性能特点,以展示双输入轴微机械陀螺仪的发展历程与研究现状.

简介：

简介：相对于宏观机械系统，微电子机械系统（Micro—Electro—Mechanical．Systems，MEMS）器件的特征尺寸和性能对于设计参数的变异（通常是由于加工误差引起的）更敏感。因此在MEMS器件设计阶段引入稳健（robust）设计可以有效抑制产品性能的波动。

简介：微机械陀螺作为小型化光电稳定平台中的核心传感器,由于存在随机漂移,直接影响了其使用精度。小波算法以其多分辨特性,适合于非平稳信号的去噪,应用小波分析算法,实现了微机械陀螺的实时滤波。通过仿真及实验验证了算法的效果。结果表明,应用小波分析算法可以将漂移均方差降低为处理前的5%以内。

简介：陀螺的噪声是影响组合导航系统精度的重要因素之一。以插秧机GPS/INS组合导航系统为研究背景，在分析常规硬阈值和软阈值小波去噪的基础上，提出了一种改进的小波阈值去噪方法。该方法构造了一种改进的阈值函数，改进的阈值函数具有较好的连续性，避免了将混叠在噪声中的有效信号完全消除，能够自动调节小波系数的收缩程度，具有一定的自适应性。利用插秧机组合导航系统中微机械陀螺的实际输出数据，分别采用硬阈值、软阈值和改进阈值小波去噪方法进行了对比试验。结果表明改进的小波阈值去噪方法处理后信号的信噪比提高了约3倍、均方差小，具有一定的实用价值。

简介：微机械陀螺广泛应用于组合导航系统。以插秧机GPS/INS组合导航系统为研究背景,针对微机械陀螺的误差进行了研究。为了提高插秧机组合导航系统的定位精度,首先通过分析微机械陀螺的工作原理对微机械陀螺的误差来源和分类进行了深入的分析,说明微机械陀螺的随机误差是影响插秧机组合导航系统定位精度的一个主要因素。然后基于时间序列的分析建立了微机械陀螺的AR随机误差模型,并利用此模型采用Kalman滤波算法对采集的试验数据进行处理。实验结果表明,在采用AR模型后,微机械陀螺的随机误差的方差减小了一个数量级,随机误差的幅值也明显减小。