稳健设计在微机械陀螺结构参数设计中的应用

相对于宏观机械系统，微电子机械系统（Micro—Electro—Mechanical．Systems，MEMS）器件的特征尺寸和性能对于设计参数的变异（通常是由于加工误差引起的）更敏感。因此在MEMS器件设计阶段引入稳健（robust）设计可以有效抑制产品性能的波动。