简介：<正>据《SolidstateTechnology》2003年第3期报道,美国北卡州三角研发园区的Ziptronix公司新开发了不同半导体界面材料的键合技术,将微机电系统(MEMS)和声表器件(SAW)进行全晶圆级的封装。这一工艺技术进行各种灵活且低成本的设计,并使MEMS与IC技术匹配,而无需复杂的结构、测试和组装,这一工艺技术约占MEMS元件成本的

简介：摘要：随着微机械加工技术的不断提高，MEMS器件生产工艺也随之得到不断开发与完善。而刻蚀技术是MEMS器件生产过程中的关键技术与核心环节，本文就湿法、干法刻蚀分析了代表性的氢氟酸腐蚀刻蚀和ICP刻蚀方法，就其特点和应用进行列比分析，并结合MEMS器件工程项目生产实际提请建设性意见。

简介：<正>00585UltraBroadbandMEMSSwitchonSiliconandGaAsSubstrates/R.Chan,R.Lesnick,D.Caruthetal(UniversityofIllinois,USA)//GaAsMANTECHConference.2003.—25报导了高可靠dc～110GHz低压毫米波GaAs与Si衬底MEMS开关的性能。当频率高至110GHz,该开关插损小于6dB,隔离度大于15dB,开关寿命大于6.9×10~9循环。文章还介绍了实现超宽带性能及高可靠性所采用的设计方法和制造方法。

简介：

简介：AreviewontheresearchofMicroElectromechanicalSystems(MEMS)technologybasedbiomimeticciliaispresented.Biomimeticcilia,enabledbytheadvancementofMEMStechnology,havebeenunderdynamicdevelopmentforthepastdecade.AfterabriefdescriptionofthebackgroundofciliaandMEMStechnology,differentbiomimeticciliaapplicationsarereviewed.Biomimeticciliamicro-actuators,includingmicromachinedpolyimidebimorphbiomimeticciliamicro-actuator,electro-staticallyactuatedpolymerbiomimeticciliamicro-actuator,andmagneticallyactuatednanorodarraybiomimeticciliamicro-actuator,arepresented.Subsequentlymicromachinedunderwaterflowbiomimeticciliamicro-sensorisstudied,followedbyacousticflowmicro-sensor.ThefabricationoftheseMEMS-basedbiomimeticciliadevices,characterizationoftheirphysicalproperties,andtheresultsoftheirapplicationexperimentsarediscussed.

简介：MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-MechanicalSystem的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。

简介：MicroandNanotechnologyareengineeringonanextremelysmallscale.Alreadytheyarebeingappliedtocreatemanynewproducts.Nanotechnologyispredictedtobecomethebasisforremarkablypowerfulandinexpensivecomputers,fundamentallynewmedicaltechnologiesthatcouldsavemillionsoflives,sensorsimportantinmilitaryapplicationaswellasenvironmentalprotection.Themainaimofthisreviewistoconcentrateinformationfromdifferentprintedandonlinesourcesandhelptomakearightdecisioninverydynamicsensormarketaswellasletknowwhatweshouldexpectinthenearestfuture.

简介：<正>MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点,成为智

简介：PolysiliconMicroelectromechanicalsystems(MEMS)arethesubjectofintensiveresearches.SurfacechemistryandtopographyofaMEMSteststructurefabricatedatSandiaNationalLaboratory,USA,werestudiedbymeansofscanningelectronmicroscopy(SEM),X-rayphotoelectronspectroscopy(XPS)andatomicforcemicroscopy(AFM).XPSC()andSi2,spectrafromthepolysilieoncomponents,siliconnitridesubstrateandareferencesiliconwaferwerecompared.Theresultsconfirmthepresenceofaself-assembledmonolayer(SAM)ontheMEMSsurface.Anisland-likemorphologywasfoundonbothpolysiliconandsiliconnitridesurfacesoftheMEMS.Theislandstaketheformofcaps,beingupto0.5μmindiameterand20nminheight.Itisconcludedthattheco-existenceofcolumnargrowthandequiaxedgrowthduringthelowpressurechemicalvapordeposition(LPCVD)oftheselayersleadstotheobservedmorphologyandtheislandsarecapstothecolumnarstructures.

简介：

简介：DC-DC隔离模块电源；模拟信号隔离放大器；

简介：LIGAtechniquehasbeendevelopedsince1993atBSRF,includingthefabricationofLIGAmask,deepX-rayLithography,electroplating,thepouringmoldingandtheapplicationsinsomefields.TheLIGAmaskwithgoldabsorbingstructuresof20μmthicknessand5μmwidthandKaptonmembraneofaround5μmthicnesshasbeensuccessfullfabricatedandappliedtothedeepX-raylithographywiththePMMAstructureof1mmthicknessorobove.thebeamlineformawigglerisusedforthedeepX-raylithographyofLIGAstatiionandisopentootheinstitutesresearchingthedeepX-raylithography.ThenormalprocessofLIGAtechniquewiththeexceptionofmoldinghasbeenestablishedwiththePMMAstructuresof500μmthicknessatBSRF.ThelargestaspectratioofPMMAstructruescanreachabout50withtheheightof500μmandthelateralsiaeof10μm.Thenickelandcopperstructureswiththetheicknessof0.5mmand1mmhavebeenmadebyusingtheelectroplatingtechnique.TheSU8asaresistmaterialofdeepetchlithographywithUVlightisalsodevelopedinthefabricationofLIGAmaskandsomedevicesatBSRF.Electromagneticsteppingmicromotor,haetexchange,accelerator,structuresusedintheEDM(electrodischargemachinging)arebeingdevelopedforthefutureapplications.

简介：摘要MEMS技术是在现代微电子技术的基础上发展起来的一门新兴科学技术，是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有学科，如电子、机械、物理、化学、材料、能源和生物医学等；同时MEMS也为上述学科的进一步研究和发展提供了有力的工具1。依托MEMS技术，人们期望通过将宏观结构微型化、集成化来探索具有新原理和新功能的元件及系统；将产品的自动化、智能化和可靠性提高到一个崭新的水平。

简介：TN2532003021143光纤电压传感器最新进展=Recentadvancesinfiber-opticvoltagesensors[刊,中]/唐丽杰（北方交通大学光波技术研究所.北京（100044））,吴重庆…//半导体光电.—2002,23（4）.—228-232综述了光纤电压传感器近年来国内外的最新研究进展,包括可用于SF6绝缘高压开关的光纤电压传感器、频率调制型的光纤电压传感器以及光控灵敏度的光纤电压传感器。介绍了国内在光纤电压传感器方面的研究进展,包括以DSP为信号处理芯片的BGO晶体的光纤电压传感器,以及应用光纤传感器机理来测试脉冲电压和电场的方法,并对光纤电压互感器暂态信号处理的原理进行了研究,试验证明可以满足继电保护的要求。图10参

简介：TN2532002042765光纤喇曼放大技术及其应用=FiberRamanamplifiertechnologyanditsapplication[刊,中]/赵玲(信息产业部电子第34所.广西,桂林(541004))∥光通信技术.—2001,25(4).—311-313概述了光纤喇曼放大器的发展情况、分布式喇曼放大器的原理和特性,阐述了掺铒光纤放大器与喇曼放大

简介：OnaccountofthemultiformityofMEMSdevices,itisnecessarytointegratewithsomeopticalmeasurementtechniquesformeetingstaticanddynamicunittestrequirements.Inthispaper,anautomatedMEMStestsystemisbuiltofsomecommerciallyavailablecomponentsandinstrumentsbasedonvirtualinstrumenttechnology.Thesystemisintegratedwithstroboscopicimaging,computermicro-vision,microscopicMirauphaseshiftinginterferometry,andlaserDopplervibrometer,andisusedforthemeasurementoffull-viewin-planeandout-of-planegeometricparametersandperiodicalmotionsandsinglespotout-of-planetransientmotion.Thesystemconfigurationandmeasurementmethodsareanalyzed,andsomeapplicationsofthemeasurementofin-planeandout-of-planedimensionsandmotionsweredescribed.Themeasurementaccuracyofin-planedimensionsandout-of-planedimensionalisbetterthan0.2μmand5nmrespectively.Theresolutionofmeasuringin-planeandout-of-planemotionsisbetterthan15nmand2nmrespectively.

简介：摘要微机电系统(microelectromechanicalsystem，MEMS)继电器具有体积小、功耗低、响应快、隔离度高、负载能力强等优点成为下一代继电器的研究热点。本文主要调研了MEMS继电器的典型结构与研究现状，并对各种结构进行了分析。

简介：摘要：随着时代的发展与科技的进步，互联网各种技术的出现，让电渐渐的成为了不可或缺的“生活必需品”。同时，很多新兴产业也在渐渐成熟,而这些新的产业、新的技术也让我们看到了技术运用在我们生活中的可能性。一个国家的军备力量，在很大程度上代表了一个国家的综合实力，所以这些先进技术在军事上的运用就显得尤为重要。而在20世纪末期出现的MEMS在很大程度上，带电气行业走上了一个新的高度。

简介：答：无源器件如：电阻电容，电感等，它们接入电路无需配置电源供电，即可以进行信号的传输变换及其他功能。而有源器件，如晶体管、集成电路(IC)等需配置相应的电源供电，方可正常有效的工作。如：三极管的基极与集电极电源，IC电路的电源供电等。没有电源供电，仅是一个孤立的晶体管或集成电路是根本不能工作的。

简介：InordertoaccomplishreliablemechanicaldesignofMEMS,theinfluencesofsurfaceroughnessandoctadecyltrichlorosilane(OTS)self-assembledmonolayers(SAMs)onthemechanicalpropertiesofmicromachinedpolysiliconfilmsforMEMSareinvestigated.Surfaceeffectonthefracturepropertiesofmicromachinedpolysiliconfilmsisevaluatedwithanewmicrotensiletestingmethodusingamagnet-coilforceactuator.Statisticalanalysisofthesurfaceroughnesseffectsonthetensilestrengthpredicatedthesurfaceroughnesscharacterizationofpolysiliconfilmsbeingtestedandthedirectrelationofthemechanicalpropertieswiththesurfaceroughnessfeatures.Thefracturestrengthdecreaseswiththeincreaseofthesurfaceroughness.Theoctadecyltrichlorosilaneself-assembledmonolayerscoatingleadstoanincreaseoftheaveragefracturestrengthupto32.46%.SurfaceroughnessandthehydrophobicpropertiesofspecimenwhencoatedwithOTSfilmsarethetwomainfactorsinfluencingthetensilestrengthofmicromachinedpolysiliconfilmsforMEMS.