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25 个结果
  • 简介:阐述了LIGA技术的组成及特点。对LIGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了朱理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以Au为吸收体的X射线光刻掩膜。简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程,并用这种掩膜在北京电子对撞机国家实验室进行了同步辐射X射线光刻,得到了深度为500μm,深宽比达8.3的PMMA材料的微型电磁马达联轴器结构。给出掩膜和X射线光刻照片。同时,对Au、Ni等金属材料的厚膜电铸进行了工艺研究。

  • 标签: 微马达 LIGA技术 光刻 掩膜 电铸 同步辐射
  • 简介:用小角X射线散射(SAXS),Raman谱,红外透射谱等研究高氢稀硅烷热丝法(HWCVD)制备氢化晶硅膜微结构,结果表明晶硅的大小及在薄膜中的晶态比随氢稀释度的提高而增加。SAXS表明薄膜致密度随氢衡释度的增加而增加。结合红外谱和SAXS的结果讨论了不同相结合下硅网络中H的键合状态。认为在非晶硅膜中H以SiH键为主,在晶硅膜中H以SiH2为主且主要存在于晶粒的界面。

  • 标签: 微晶硅薄膜 小角X射线散射 半导体 红叶光谱 结构
  • 简介:在北京同步辐射实验室XAFS实验站上建立了利用全电子产额方法探测XAFS的实验方法。通过测量单色X-射线在样品表面激发出的电子产额随X-射线能量的变化,提取在吸收边附近的XAFS震荡。对不同厚度Cu薄膜的测量表明,在Cu的K吸收边附近可观察到信噪比很好的XAFS震荡。该探测器设计简单,可以直接在大气下工作。全电子产额XAFS方法的建立,有助于导电薄膜和材料的近表面结构研究。

  • 标签: 测量 XAFS谱 全电子产额技术 同步辐射 X-射线吸收精细结构 磁控溅射
  • 简介:论文介绍了北京同步辐射X-射线荧光束分析装置的最新进展,以及近年来在生物医学和石油地质领域的应用研究工作,重点报导了前不久在国内首次使用该方法,对单个流体包裹体探测的实验结果。

  • 标签: 同步辐射 X-射线荧光 微束分析 微量元素 分析装置 应用
  • 简介:详细介绍了软X射线绝对光强测量系统的设计和结构及其标定的情况和结果。测量系统包括电离室、监测(或待标定)探测器及其传动系统两部分,可作为50-2000eV软X射线绝对强度测量的一级标准探测器,并给出了系统的偏差。

  • 标签: 测量系统 软X射线 绝对光强 测量 电离室 标定
  • 简介:采用高氢稀硅烷热丝化学气相沉积方法制备氢化晶硅薄膜。其结构特征用Raman谱,红外透射谱,小角X射线散射等来表征。结果表明晶硅的大小及在薄膜中的晶态比Xc随氢稀释度的提高而增加。而从红外谱计算得到氢含量则随氢稀释度的增加而减小。小角X射线散射结果表明薄膜致密度随氢稀释度的增加而增加。结合红外谱和小角X射线散射的结果讨论与比较了不同相结构下硅网络中H的增加而增加。结合红外谱和小角X射线散射的结果讨论与比较了不同相结构下硅网络中H的键合状态。认为随着晶化的发生和晶化程度的提高H逐渐移向晶粒表面,在硅薄膜中H的存在形式从以SiH为主向SiH2转变,即在晶硅膜中主要以SiH2形式存在于晶粒的界面。

  • 标签: 氢化 小射X射线散射 稀释 制备 微晶硅薄膜 微结构
  • 简介:流体包裹体保留了古地质时期流体的原始组成,为矿物形成提供有价值的物理化学信息,对单个流体包裹体的无损成分分析,成为国际地学领域的重大前沿课题。同步辐射X射线荧光(SRXRF)探针以其在微量和区分析上的优势为这方面的研究提供有力的工具。我们在北京同步辐射装置(BSRF)的3WIA新束线上,用这种探针开展了单个流体包裹体无损分析的实验研究。用特制的狭缝系统,从能量为3.5-35kev的同步辐射X射线中得刮10×10μm^2的束,通过显微对光调整使它入射到选定的大小适当的单个流体包裹体样品上,其所产生的荧光用来确定流体中所含元素的丰度。用NIST612标样,测定了目前实验条件下元素的最小检测限(观测时间为1000秒),检验了这种方法的可行性。在此基础上,对一组典型有机包裹体样品分别单个作无损成分分析,给出了K、Ti、V、Cr、Kh、Fe、Ni、Cu、Zn、Rb、Sr、Y、Zr和Pb等14种元素的半定量测试结果,并说明这些结果可用来研究包裹体所在储层的沉积环境以及包裹体形成时捕获的油气的母源问题。

  • 标签: 单个流体包裹体 同步辐射X射线荧光微束 无损分析 矿物
  • 简介:论文介绍在北京同步辐射装置(BSRF)的实验条件下,用同步辐射X-射线荧光探针对单个流体包裹体作无损成分分析实验探索,包括样品的制备、流体包裹体鉴别和选择及在工作平台上对它们作显微对光、进行探测等。在20μm×10μm和10μm×10μm束斑下对几种类型流体包裹体作了测试分析,结果表明,矿物包裹体与主矿物中所含的微量元素的种类比较一致,只是在含量上有明显区别,它可以指示某种金属矿床和某种伴生矿的存在;而储集层中不同油井和层位的有机包裹体中所含微量元素的特征,可用于研究油气的成因和演化。

  • 标签: 同步辐射 X-射线荧光微探针 流体包裹体 无损分析 石油 天然气
  • 简介:本文简述流体包裹体研究的意义。介绍在BSRF的实验条件下,用同步辐射X射线荧光探针对单个流体包裹体作无损成分分析实验探索,包括样品的制备、流体包裹体鉴别和选择及在工作平台上对它们作显微对光,进行探测等。在20×10μm^2和10×10μm^2束斑下对几种类型流体包裹体作了测试分析,并对结果作了讨论。

  • 标签: 同步辐射 X射线荧光微探针 流体包裹体 无损分析 矿物 成矿流体
  • 简介:介绍了利用北京同步辐射实验室的全反射X射线荧光谱仪测量生物细胞样品的可行性;用此谱仪测量了正常的和受辐照的小白鼠小肠细胞的痕量元素含量,发现K、Ca、Fe等元素含量有明显提高,Cu元素含量明显降低,Mn元素含量变化不大,Zn元素含量基本稳定;讨论了其在临床医学上的重要价值。

  • 标签: 全反射X射线荧光分析 测量 小肠细胞 痕量元素 临床医学 辐射损伤
  • 简介:介绍了同步辐射束X射线荧光分析的特点,主要的仪器设备和方法。介绍了在头发和病变组织中微量元素成分的扫描分析,细胞元素谱及其在外界物理、化学条件下的变化分析等。展示了同步辐射束X射线荧光分析在生物医学研究中的广阔前景。

  • 标签: 生物医学 应用 同步辐射 微区分析 痕量分析 X射线荧光分析