LIGA工艺制造微驱动马达的初步研究

相关推荐

• 用LIGA技术制作微马达构件
• LIGA技术X光深层光刻工艺研究
• 利用LIGA技术研制超微步进电机
• 德尔福：三套马达驱动
• 挠性电路马达板振动马达接地工艺改进

同分类资源 更多

• [核技术及应用] Study of the microstructures and the strain of PbZr0.53Ti0.47O3／La1.85Sr0.15CuO4 integrated films
• [核技术及应用] 软X射线绝对光强测量系统及其标定
• [核技术及应用] A new ion chamber with a movable photodiode monitor for absolute intensity measurements of soft X—rays
• [核技术及应用] X—ray reflectivity and scanning—tunneling—microscopy study of surface roughness scaling of molybdenum films
• [核技术及应用] 同步辐射微探针荧光分析

相关关键词