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用LIGA技术制作微马达构件

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摘要阐述了LIGA技术的组成及特点。对LIGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了朱理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以Au为吸收体的X射线光刻掩膜。简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程，并用这种掩膜在北京电子对撞机国家实验室进行了同步辐射X射线光刻，得到了深度为500μm，深宽比达8．3的PMMA材料的微型电磁马达联轴器结构。给出掩膜和X射线光刻照片。同时，对Au、Ni等金属材料的厚膜电铸进行了工艺研究。

DOI 7dmn12oe4n/1407230

作者梁静秋;姚劲松

机构地区不详

出处《北京同步辐射装置年报》 1998年1期

关键词微马达 LIGA技术光刻掩膜电铸同步辐射

分类 [核科学技术][核技术及应用]

出版日期 1998年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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