简介:作为BSRF改进项目的重要内容之一,为高压科学研究专用的4W2光束线和实验站屏蔽棚屋(HUTCH)已完成设计和建造,于2002年冬季投入使用。高压站也由3WlA光束线移至4W2,对实验设备进行了重新组装和调整,并对用户提供了部分机时。在科学院知识创新重要方向性项目的支持下,同步辐射高温高压实验平台的建设正在进行,已完成了部分设备的研制与安装。新的光束线和实验站将在光源质量和设备性能上有一个很大的提高,为获得高质量的高压实验数据提供保障。
简介:通过在北京高能所3W1束线上进行的X光深层光刻工艺研究,获得了侧壁光滑、陡直、厚度达100μm,深宽楷比达20的光刻胶和金属微结构,表明该光束线适用于LIGA技术的研究。
简介:
简介:GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造者带来了许多问题。在本文个,一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T型栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。
简介:本文向用户扼要介绍了光束线3W1A及其实验站的辐射安全联锁系统的设计目的、设计思想、系统的功能作用和操作规则。本系统于1996年9月投入试运行,于1998年年底通过院级鉴定和验收。
高压科学研究专用光束线的建造和实验站的改进
LIGA技术X光深层光刻工艺研究
LIGA工艺制造微驱动马达的初步研究
全新深亚微米X射线T型栅工艺
在3W1束线上进行X光深层光刻工艺研究
BSRF新束线3W1A及其实验站的辐射安全联锁系统