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半导体设备维修分析

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摘要摘要：半导体设备广泛应用于半导体集成电路行业。在应用过程中，半导体设备会出现各种故障，应采取科学合理的维护措施，使半导体设备保持良好的工作状态。本文分析了半导体设备维护的基本要求和基本方法，概述了半导体设备维护策略，以供参考。

DOI lde33qln43/6915417

作者徐择君

机构地区 362321198909067812

出处《城镇建设》 2022年16期

关键词半导体设备维护

分类 [建筑科学][市政工程]

出版日期 2023年03月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

城镇建设

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