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半导体专用设备的真空系统维修研究

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摘要摘要本文主要针对半导体专用设备的真空系统维修展开深入研究，主要通过真空获得、真空测量以及真空检漏等，以此来完善真空系统维修工作，给予半导体专用设备正常运行一定的保障，避免故障问题的出现，从而发挥出半导体专用设备良好的使用性能。

DOI ojnx178mdr/3286937

作者徐建蒋利锋，刘放，张强，刘豪

机构地区徐建蒋利锋，刘放，张强，刘豪

出处《科技新时代》 2019年2期

关键词半导体专用设备真空系统维修

分类 [医药卫生][]

出版日期 2019年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）