浅析半导体设备的预测性维修技术

摘要：多年的调查分析研究表明，预测性维僇技术是维修领堿近年来硏究的重点对象，对其关注度逐渐提升。本文从预测性维修技术出发，首先分析故障后维修和预防性维修以及预测性维修，对三者的不同点和相同点及各自的优缺点做了相应的论述。近年来的半导体设备主要都是流水线作业生产，因此在流水线生产的过程中，只要有其中任何一台设备出现问题或发生故障，流水线作业的中断都会使整个作业过程中断，给公司或企业带来经济损失。

• 作者: 薛文卿
• 出处: 《当代电力文化》 2021年16期
• 关键词: 半导体设备 故障后维修 预防性维修 预测性维修 技术分析
• 分类: [电气工程][电力系统及自动化]