摘要
摘要：预测性维修是近些年来维修领域当中主要研究的问题之一，本文将从通常的预测维修论点出发，分别比较了修复性维修，预防性维修，还有预测性维修之间存在的优点和缺点，并且通过维修半导体设备进行了一些预测性维修措施的论述。半导体再进行生产的过程当中都是以流水线的方式进行生产的，如果在生产的过程当中其中一台生产设备出现了问题那么将会给整个生产流程带来严重的损失。因此这就需要对一些重点用到的设备，进行监控和预知性的维修，从而将机器故障带来的经济损失给有效避免。预测性维修，主要就是将状态作为主要依据的一种维修方式，在生产设备在运行的过程当中，对设备进行实时的状态监测和定期故障诊断，判断出装备整个所处的状态，预测未来这个设备会朝着什么样分方向去发展等等。预先制定一些维修计划，保证机器能够在运作的过程当中处于正常的状态。因此可以看出半导体设备的预测性维修对于设备维修来说具有非常重要的意义。
出版日期
2022年09月27日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
