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  • 简介:文中针对当前通过在A1GaN层进行F-离子注入这种实现EAlGaN/GaN增强型HEMT器件的重要方法,建立其数值模型。对该方法F-起到对导电沟道的调制机理进行了分析解释,对该方法的实现过程中的关键F-离子注入量、注入深度分布的对宏观器件特性的影响进行数值分析,得到了具有指导意义的结果。为今后该方面的器件特性进一步研究提供了理论指导。

  • 标签: F-注入 增强型HEMT 数值模拟
  • 简介:近日,美国《财富》杂志载文指出,在20世纪科技史上有两件事影响深远:一是微电子芯片,它是计算机和众多家电的心脏,它改变了我们的经济和文化生活,并已进入每一个家庭;另一件事就是生物芯片,它将改变生命科学的研究方式,革新医学诊断和治疗,极大地提高人口素质和健康水平。有人认为,从某种意义上说,如果20世纪属于微电子芯片的话,21世纪则是生物芯片的时代。

  • 标签: 生物芯片 大产业 本世纪 微电子芯片 预测 专家