简介:设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。
简介:随着对材料研究的逐渐深入,材料制备和材料分析的方法越来越重要,并且一些材料重要的物理性质是开展相关研究的基础。由于一些材料熔点高、难熔化,同时,传统手段无法避免容器壁的污染,或者无法在真空条件下进行试验避免气体的污染,或者由于实验性质原因只能测量特定的材料,这些方法很难测量材料在高温下过热过冷阶段的热物理性质。系统介绍了静电悬浮技术,这是一种新型的实现深过冷的方式,可以达到高温下对材料热物理性质进行测量的目的。静电悬浮技术使样品在两极板间悬浮,在悬浮的状态下采用激光对样品进行加热,使材料达到高温熔化,同时进行热物性的测量。对比了几种实现测量典型热物理性质的方法,了解静电悬浮的优势,并详细地介绍了静电悬浮技术对材料的熔体密度、热膨胀系数、表面张力和粘度系数以及比热的测量。
简介:一眼望不到尽头当木头成为小偷的时候,三哥连死的心都有了。他可以容忍自己的儿子不爱学习,夜不归宿,但无法容忍自己的儿子是个小偷。那一刻,三哥的世界完全黑了下来,他所有的心血,全都白费了。那种锥心蚀骨的痛,让这个