简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限
简介:TJ7652002032313水下航行器终端姿态约束的制导方法研究=Investigationonaguidingmethodofperpendicularimpactforthenavigationofaunderwaterautonomousvehicle[刊,中]/刘正平,徐德民,王晓娟(西北工业大学.陕西,西安(710072))//系统工程与电子技术.-2001,23(11).-70-72,86针对水下航行器采用主视声纳和旁视声纳识别和跟踪,引入了初始导引段跟踪虚拟目标的概念,提出一种新的精确制导方法,给出了导引跟踪数学模型,并进行了仿真和分析。图6参4(李瑞琴)TJ7652002032314光纤制导双向传输系统=Bidirectionalopticalfiber
简介:TH949.296031901形心测量跟踪电视系统=CentroidmeasurementandtrackingTVsystem[刊,中]/于前洋,黄廉卿,刘洵,张渤琳,刘丽琴(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.-1995,3(5).-38-43论述了形心测量跟踪电视系统的构成、工作原理、关键技术及实用结果。图4表2参3(任延同)TN141.3396031902谈谈黑白显像管的光栅暗角=SuperficialviewonthegratingdarkcornerofB/Wpicturetubes[刊,中]/李臻峰(华东电子管厂.江苏,南京(210028))//光电技术.-1995,36(3).-48-51