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  • 简介:TB922002032253基于线阵CCD阵列的在线检测方法=New3DsurfacemeasurementonlinebasedonlinearCCDarrays[刊,中]/周鸿,赵宏(西安交通大学机械学院激光红外应用所.陕西,西安(710049))//半导体技术.-2001,26(11).-1-4利用矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,通过三个严格排列的线阵CCD阵列对物体三维轮廓进行扫描采样测量,一次扫描就可以获得三幅相位图。重点讨论了该方法的原理和特点,并给出试验简图及实际测量结果。图8(李瑞琴)

  • 标签: 西安交通大学 测量结果 测量原理 检测方法 半导体技术 红外应用
  • 简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

  • 标签: 微细加工光学技术 光学邻近校正 光刻技术 半导体技术 中科院 大学物理
  • 简介:TQ171.652005032360利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究=Studyontestingmethodsoflarge-aperturerectangleoff-axisasphericalsurfacewithcomputeraidedalignment[刊,中]/杨晓飞(中科院长春光机所.吉林,长春(130022)),韩昌元∥光学技术.-2004,30(5).-532-534通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分

  • 标签: 工艺与设备 光学加工 离轴非球面 加工技术 精度要求 调整量
  • 简介:在航空航天和机械等领域中的大型复杂结构的地面振动环境工程试验是检验产品或结构对振动环境的适应性以及评估动态性能的重要方法。随着对产品的适应性、可靠性要求的提高,对振动环境试验技术的要求也越来越高,使其更能模拟真实环境。同时,随着计算机技术、数值仿真技术、数字信号处理技术以及结构动力学分析技术的发展,进一步改进振动环境试验技术,使之能够提供更多的信息,并发挥其更有效的作用已成为可能。

  • 标签: 地面振动 工程仿真 系统设计 环境模拟 数字信号处理
  • 简介:TN305.72005032365硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用=Fabricationofsilicon-basedmicrostructuresandtheirapplicationinmi-crochipsE刊,中]/孙洋(清华大学深圳研究生院.广东,深圳(518057)),钱可元…∥半导体光电.-2004,25(6).-477-479,483基于一种新的湿法刻蚀条件和新型的凸角补偿结构,以KOH溶液为腐蚀液,对单晶(100)Si材料进行了湿法刻

  • 标签: 衍射光场 飞秒激光 光刻胶 激光微细加工 光学工艺 抛光液
  • 简介:开发中职校本专业教材,是职业教育适应经济发展的必然选择,也是职业学校自身利益发展壮大的迫切需求。本文从校本教材开发要围绕培养目标、校本教材的开发要立足于实现教学理实一体化、校本教材要体现以学生为主体三个方面探讨中职环境工程学科校本教材的开发,以期促进中职课程改革,推动中职教育的发展。

  • 标签: 中职 环境工程 校本教材 开发
  • 简介:TQ171.68497010634超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势=Developmentandfeatureofultraprecisionopticalpolishing[刊,中]/滕霖,任敬心(西北工业大学.陕西,西安(710072))∥航空精密制造技术.—1996,32(3).—5—9综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素,对重要因素目前的研究进展进行了分析;介绍了新型

  • 标签: 光学抛光 发展趋势 精密制造技术 超精密 研究进展 西北工业大学
  • 简介:TJ7652002032313水下航行器终端姿态约束的制导方法研究=Investigationonaguidingmethodofperpendicularimpactforthenavigationofaunderwaterautonomousvehicle[刊,中]/刘正平,徐德民,王晓娟(西北工业大学.陕西,西安(710072))//系统工程电子技术.-2001,23(11).-70-72,86针对水下航行器采用主视声纳和旁视声纳识别和跟踪,引入了初始导引段跟踪虚拟目标的概念,提出一种新的精确制导方法,给出了导引跟踪数学模型,并进行了仿真和分析。图6参4(李瑞琴)TJ7652002032314光纤制导双向传输系统=Bidirectionalopticalfiber

  • 标签: 水下航行器 光纤制导 双向传输系统 系统工程 电子技术 数学模型
  • 简介:对某型空地导弹电视导引头进行实测建模,通过建模和仿真分析,对系统提出改进意见。介绍了光纤图像制导系统的技术特点和基本原理,讨论了光纤图像制导的关键技术,如图像导引头、光纤双向传输系统、图像跟踪器等,给出了光纤制导系统应用的实例及试验结果,分析了其应用方向和发展前景。

  • 标签: 光纤双向传输系统 电视导引头 仿真分析 应用方向 图像跟踪器 技术特点
  • 简介:O72395021325磨抛工艺中HgCdTe晶片的表面损伤=SurfacedamageofHgCdTewafersinlappingandpolishing[刊,中]/姚英,蔡毅,欧明娣,梁宏林,朱惜辰(昆明物理所.云南,昆明(650223))//红外技术.—1994,16(5).—15—20用X射线反射形貌术研究了磨抛工艺在用Te溶剂法和布里奇曼法生长的碲镉汞晶片表面引入的

  • 标签: 光学加工 磨抛工艺 布里奇曼法 红外技术 表面损伤 射线反射
  • 简介:TB853.196031855镜头快门及其技术发展=Thelensshutteranditstechnicaldevelopment[刊,中]/范建伟(国营华东光学仪器厂.浙江,嘉兴(314001))//光学仪器.-1995,17(4/5).-75根据不同时期镜头快门曝光控制方式,动力源的

  • 标签: 镜头快门 光子学 光学仪器 控制方式 射线系统 条纹相机
  • 简介:TH949.296031901形心测量跟踪电视系统=CentroidmeasurementandtrackingTVsystem[刊,中]/于前洋,黄廉卿,刘洵,张渤琳,刘丽琴(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.-1995,3(5).-38-43论述了形心测量跟踪电视系统的构成、工作原理、关键技术及实用结果。图4表2参3(任延同)TN141.3396031902谈谈黑白显像管的光栅暗角=SuperficialviewonthegratingdarkcornerofB/Wpicturetubes[刊,中]/李臻峰(华东电子管厂.江苏,南京(210028))//光电技术.-1995,36(3).-48-51

  • 标签: 跟踪电视系统 工作原理 精密工程 形心测量 伪彩色处理 关键技术
  • 简介:对于说话人辨认系统,实际使用环境训练环境通常并不匹配,实际使用环境中常常存在各种来源的噪声,实验室训练环境中性能良好的系统在实际使用环境中其性能可能急剧下降。增强系统的抗噪能力是一个不容忽视的问题。本文试图将语音增强技术应用于说话人辨认系统,提高系统识别率和稳健性。初步实验表明,语音增强技术可显著提高系统的抗噪声能力。

  • 标签: 语音增强 谱减法 小波法 说话人辨认
  • 简介:多年来,NASA中心、AFSSD和欧空局等研究部门都是以最高预示环境(简写为MEE)量值加上一定余量作为航天器振动、噪声和冲击的鉴定性试验条件,验收试验条件为最高预示环境量值。可见,最高预示环境量值的确定是动力学环境试验条件制定的关键环节。在此将对最高预示环境量值的定义、确定方法和过程进行探讨。

  • 标签: 环境试验 量值 NASA 定性试验 验收试验 航天器