简介：日本光学计测研究室量子部，近年来利用以小型、大功率、稳定的光源著称的半导体激励YAG激光器，实现了干涉测量的新方法，该方法通过将半导体激励Nd：YAG激光(波长1064nm的红外光)

简介：摘要：高端装备是制造业的最终发展目标，具有高质量、高性能、高可靠性等特点，超精密测量是保障高端装备高质量的关键因素。基于此，文章从超精密测量与高端准备制造质量的关系入手，论述如何推进超精密测量发展，提高高端装备制造质量，推动高端装备制造业可持续发展。

简介：摘要： “非常精密加工”作为一种极其精密的加工技术逐渐显现出来，这种加工的方法结合了极其精确的硅片切割，磨削和磨削加工，分析了硅片超精密加工的研究现状，并探讨了硅片的发展趋势。预测硅晶片的加工与未来的研究工作。

简介：摘要：超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。随着科技的发展，各个领域对零件的加工精度要求越来越高，传统的加工方法已满足不了需求，超精密加工依靠自动化技术可以达到纳米级的加工精度。本文就国内外超精密机床加工研究现状做了简单介绍，概述了超精密加工的关键技术以及影响超精密加工的环境因素，为超精密加工在各行业的应用提供理论参考。

简介：摘要：超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。随着科技的发展，各个领域对零件的加工精度要求越来越高，传统的加工方法已满足不了需求，超精密加工依靠自动化技术可以达到纳米级的加工精度。本文就国内外超精密机床加工研究现状做了简单介绍，概述了超精密加工的关键技术以及影响超精密加工的环境因素，为超精密加工在各行业的应用提供理论参考。

简介：摘要：超精密加工作为一种非常精密的加工技术正在逐渐兴起。这种加工方法结合了高精度硅片的切割、磨削。对硅片超精密加工的研究现状进行分析和讨论，预测硅晶圆工艺和未来的研究工作。

简介：摘要微电子器件制造技术、微机电系统制造技术以及微光电子器件制造技术合称三微制造技术。目前与“三微”系统直接有关的航空背景型号主要有微小型无人机、超高速天空飞行器、四代机、微小型武器等。其中微机电系统及微机电器件是机载设备发展的主要方向之一。该技术可应用于飞机的灵巧结构、灵巧蒙皮、雷达、导航、控制、微型武器、微型燃气涡轮发动机等。微机电系统制造技术是发展微型飞机的核心技术，要发展微型飞机、加快机载设备的更新换代，就必须发展航空微机电系统制造技术，建立相应的研究开发基地，逐步形成航空微机电制造产业。

简介：针对精密定位装置存在非线性，精确数学模型难于建立的缺陷，提出了精密定位的神经网络控制方法．将BP神经网络应用于该控制系统中，系统以光栅常数100μm的光栅为定位标记，以激光衍射产生的莫尔光光强及光强的变化率为神经网络的输入变量，利用神经网络的自学习功能进行精密定位控制．建立了精密定位的神经网络控制模型，模型由输入层、隐层和输出层3层神经元组成，通过对光强及光强变化率的映射，得到电机驱动信号．实验结果表明，使用神经网络控制，控制响应快，稳定性好，鲁棒性强，可有效改善控制质量，提高定位速度，系统可获得±0．5μm的定位精度．

简介：摘要：随着数字数控机床和加工平台的产生与发展，机械零件的加工方式也向着大批量、专一化方向发展。导致对机械零件的需求也逐渐加大，零件的尺寸和表面加工质量是否符合标准使用要求是影响机械零件正常工作的关键，因此，对机械零件的光学超精密检测成为主要研究任务。机械零件表面的加工质量和尺寸大小虽然对零件的正常使用影响较低，但直接影响零件的可靠性、质量和使用寿命，而机械零件使用时间决定零件经济效益。随着光学超精密加工技术的不断发展，零件光学超精密加工检测技术已成为超精密加工迫在眉睫的关键难题。人工智能技术是一种新兴的用于模拟、延伸和扩展的智能理论、方法、技术及应用系统的一门新的技术科学。人工智能技术中的机械学习法，使机械零件的光学超精密检测过程大大简化，并将操作结果保存在存储器中，便于后续光学超精密检测过程的快速执行。

简介：摘要对于超精密冲床结构进行优化设计，是提高结构性能，满足结构的轻量化要求并缩短研发周期、节约成本和损耗的重要方法，在一些工业生产中已经成为至关重要、必不可少的环节，因此，本文以超精密工件台为主要的优化对象，对其静动等各项性能进行优化，在进行优化的过程中，选择了一种加权欧式距离法的设计方法进行优化，建立了能够使静柔度最小化、模态频率最大化的多目标拓扑优化的目标函数，对其横梁的结构进行了多目标拓扑优化。

简介：摘要：超精密加工工件全自动刮削技术具有高效益高难度的特点。目前，我国精密加工设备对工件的加工精度要求越来越高，机床精加工后必须经过刮削工序，然而人工刮削效率已经远远无法满足精密加工工业需求。本文介绍了人工刮削特点的研究，自动刮削机理的分析，构建自动刮削系统的流程，以及自动刮削控制系统的PLC控制系统设计。为实现加工精度高、效率高的自动化刮削加工技术奠定研究基础。

简介：摘要：微细磨料电解复合超精密镜面抛光技术在现代制造业中地位显著，数码配件、医疗器械、汽车配件、航空航天、军备设备等领域都需要这一技术的助力，被誉为现代电子工业与精密制造业的的技术灵魂，本文将重点讨论其工艺的先进性。

简介：介绍了电主轴及其配套产品和技术关键，并展望了其未来的发展趋势。

简介：铜合金超塑成形精密模锻工艺，在我国始于20世纪80年代初，最早由广东肇庆的“广东仪表厂”与华南理工学院（现在的华南理工大学）共同开发成功。这项技术与北京机电研究所的铝合金超塑成形技术一道，形成当时的“南铜北铝”局面。

简介：摘要：超精密切削加工是一种重要的微细加工方法，广泛应用于制造业中的高精度零部件生产。在超精密切削加工过程中，材料去除是实现高精度、高表面质量的关键步骤。随着材料科学和加工技术的不断进步，越来越多的研究都致力于探索和优化材料去除理论。

简介：摘要：超精密切削加工是一种重要的微细加工方法，广泛应用于制造业中的高精度零部件生产。在超精密切削加工过程中，材料去除是实现高精度、高表面质量的关键步骤。随着材料科学和加工技术的不断进步，越来越多的研究都致力于探索和优化材料去除理论。

简介：随着国防工业、航空航天、现代医学以及微电子工业的发展下，对于超精密微机械制造技术也提出了更高的要求，随着技术的成熟，超精密微机械制造技术的发展取得了质的突破。本文介绍了超精密微机械制造技术的概念，并针对超精密微机械制造技术的应用进展进行阐述。

简介：摘要当前我国机械制造业不断迅猛发展的同时，工业机械化的应用范围越来越广泛，且诸多领域的工业机械化应用程度越来越多，对国民经济建设发挥了巨大的推动作用。同时伴随着当前的社会发展以及经济发展趋势，各个领域对于机械加工的需求以及标准也必然会不断提高，其整体精密、高效的发展趋势越来越明显。对此，本文将以超精密机械加工为例，分析超精密机械加工在未来发展中的具体前景以及相关趋势。

简介：摘要现代机械制造工艺与超精密微加工技术的应用对我国的机械制造业具有深远的影响。本文首先简要介绍了现代机械制造工艺与超精密微加工技术特征，随后分析了现代机械制造工艺与超精密微加工技术的应用，希望这些观点能够有效促进我国机械制造业的可持续健康发展。

简介：摘要微纳制造技术给计量科学和计量仪器提出了新的测量任务，测量精度要求达到纳米级。研制低成本高精度的新测量方法已成为开发MEMS产品的迫切需要。在设计开发MEMS时，其系统功能主要是通过微结构的微小位移和变形来实现,MEMS微小位移和速度等微运动的测量成为开发MEMS的重要内容。