简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限
简介:摘要电力在国民经济发展中占据非常重要的地位,用电的安全稳定影响着各行各业的发展,关系到人民群众的安居乐业。因此,企业在建设过程中一定要重视电力基础设备的安装工作,只有做好电力基础设备的安装工作,才能保证企业的正常运行,减少不必要的损失。笔者结合自己掌握的有关电力设备的安装知识,介绍了电力工程配电设备安装的相关内容,希望能够为电力设施的基础建设出一份力。
简介:选取合理的样本数据,建立自回归分布滞后-误差修正模型,分析并预测我国未来几年的能源消费量与环境质量之间的关系。通过对比能源消费弹性系数,发现提高电力在终端能源的消费比重可以提高能源效率,减少环境污染。
简介:摘要改革开放以来,我国经济水平得到了很大的提升,各行各业也快速发展起来,对电力的需求也越来越大,过去的电能供应逐渐满足不了社会生产以及人们日常工作与生活的需求,所以需要加快电网的建设速度。作为电力系统中重要组成部分,变电站在电力系统有着重要的作用,主要负责电压的变换以及电能配送工作,在变电站中有较多的电气设备,电气设备的运行状态对电力系统的正常运行有着直接的影响,因此,如何加强电气设备的运行和维护管理质量成为当前重点研究的问题。本文首先对变电站电气设备发生故障的原因进行了简单阐述,分析了电气设备安全运行与维护管理工作的重要性及要点,最后提出了加强电气设备安全运行和维护管理的策略。