简介：在光栅的制作中有两种方法:其中一个是湿法,另外一个是干法.本文分别就湿法和干法的实验结果,进行比较.用干法刻蚀方法做出了比较好的一级光栅,证明了干法刻蚀优于湿法刻蚀.

简介：摘要：本文研究的主要目的是在集成电路技术发展及纳米时代到来的背景下，强调刻蚀腔环境对电介质刻蚀混合制程的影响研究的重要性。通过设计刻蚀腔环境对电介质刻蚀混合制程的影响研究实验，并对实验的动机、概况、结果、结论几方面做出分析，以全面提升国家芯片技术制造质量，进而推动国家现代化发展，应对国外技术封锁。此次研究选用的是文献研究法，通过对相应文献的查找，为文章的分析提供一些理论基础。

简介：文章基于Mintab软件,运用Precision5000等离子刻蚀技术研究0.8μm多晶栅刻蚀中功率、压力、HBr流量、Cl2流量对刻蚀效果的影响。获得了四个因素对刻蚀效果影响的主次关系,同时由Mintab软件分析获得了各因子效应的pareto图,各因素对多晶条倾斜角度影响的主效应图,各因子对刻蚀效果的正态分布图,并拟合获得了多晶栅刻蚀的最优化条件。运用最优化条件刻蚀多晶栅,其结果表明剖面倾斜角度及表面形貌均能达到MOS器件的工艺制造要求。

简介：依据感应耦合等离子体的刻蚀机理,对影响刻蚀的两个重要参数及先进的硅刻蚀技术进行了较深入的研究,并对影响刻蚀效果的参数进行了实验研究,刻蚀出了20μm深,2μm宽的谐振器结构,得到了最佳的工艺参数.

简介：RNAi是双链RNA介导的、序列特异性的转录后基因沉默,自1998年发现至今已有很大进展.本文综述了RNA干涉的分子机理及其应用研究进展.

简介：野生动物电影纪录片的制作者——德瑞克·朱伯特和贝弗利·朱伯特夫妇,从年轻时就一直居住在非洲博茨瓦纳的野外环境中,至今长达30年。在拍摄过程中,朱伯特夫妇遇到过各种各样的情况。但不管画面多么惨不忍睹、多么惊心动魄,他们始终不去介入,只专注于拍摄。

简介：最近十几年来,详细的海底地形测量发展迅速.海底地形图可以为海洋地理研究、海洋开发和海洋工程提供丰富的信息,为大陆架边界确定和专属经济区的划界提供充分的依据.新型海洋测量仪器不断投入使用,干涉声纳系统(又称相干声纳系统),就是进行高密度、高精度海底地形测量的专用设备.

简介：对等倾干涉和等厚干涉的干涉条纹作了比较归纳出等倾干涉和等厚干涉条纹的主要异同点

简介：摘要并联机床是指用并联机构作为进给传动机构的数字控制机床.与传统机床相比并联机床具有刚度重量比大、响应速度快、对环境适应性高、技术附加值高等优点。本文以通用CAM软件输出的刀具轨迹为基础，提出了缩短检查干涉时间的检查点文件的组成方式，并通过调整工件的安装位置来回避可能发生的各种干涉，提出了检验该工件能否进行加工以及可加工时工件最佳安装位置的计算方法。

简介：在当今时代，国际关系概念或范畴意义上的人道主义干涉有其一定的、进步性的法理和伦理依据，并且有一部分应予肯定或容许的政治原因。然而，也是出于法理、伦理以及政治上的重大理由，人道主义干涉在理论上或实践中都须受到严格的限制。

简介：摘要刻蚀工艺是将未被抗蚀剂膜（通常为光刻胶）掩蔽的膜层刻蚀掉，从而在薄膜上得到与抗蚀剂膜完全相同图案的工艺。刻蚀工艺通过化学的、物理的或同时使用化学和物理的方法，有选择地刻蚀掉一定厚度的未被抗蚀剂掩蔽的目标薄膜，从而在目标膜层上得到与抗蚀剂膜层上完全一致的图形。本次实验依照控制变量法的原理，通过改变某一工艺参数，保持其余参数不变，来设置使用干法刻蚀工艺加工二氧化硅的对比实验，并根据实验测试结果分析此工艺参数对刻蚀速率、选择比以及刻蚀形貌等的影响。

简介：水波干涉图样对认识与理解波的干涉十分重要，本文讲述如何观察水波干涉图样，怎样从干涉图样认识和掌握干涉原理。

简介：声波干涉实验获得成功的关键:在于有一个能产生相干波又能使之发生干涉的仪器。过去我们曾用音叉作声源来演示,但音叉的音量太小,效果不够理想。为此,我们自己动手制作了一种声波干涉仪,用它做实验,效果很好。一、仪器的结构声波干涉仪的整体结构如图1所示,包括:发声、管道和声探测器三部分。1.发声部分:声源我们由录放机和扬声器组成。事先将500赫的正弦波录在录音磁带上,打开录放机,扬声器就能发出500赫的纯粹的正弦声波。2.管道:管道是用塑料输水管,内径约5厘米。其

简介：本文较详细地讨论了迈克迩干涉仪在各种不同条件下产生的干涉条纹的性质及干涉花样。

简介：摘要：

简介：美国宇航局宣称，他们用刻蚀法在一片硅片上为韦伯氏太空望远镜制成了快门阵列。这一组快门由腔体和带有微型折页的移动门组成。微型快门上装有钴铁磁条。一个移动磁铁可打开所有小门，将磁条纳入腔体中。当小门打开时，工程人员可借助一套组合电动势控制快门的开或关。当磁铁移开时，快门就会关闭。

简介：摘要：本控制系统根据湿法刻蚀设备的工艺要求，以PLC为主控制器，工控机、ET200远程模块、阀岛、变频器等进行硬件系统的搭建，根据工艺流程基于博途V18进行软件编写，实现对硅片的刻蚀、清洗、碱洗、酸洗、烘干、传输等功能，经过设备在客户现场生产线上实际应用，控制系统运行正常，满足客户使用需求。

简介：利用Hermite—Gauss函数、模式干涉理论以及电场矢量线性叠加方法，分析了高阶模经光纤Mach—Zehnder干涉仪后的输出光场的空间干涉现象，得出了两个高阶模之间干涉光场的公式，计算出了双模光纤中各模式之间空间干涉的光场。数值仿真结果表明二阶模之间的干涉光场是两个相同的圆形光斑，而基模和二阶模之间的干涉光场是两个不等大的圆形光斑。

简介：发声的音叉周围存在互相间隔的四个声强区和四个声弱区,如图1所示。本文从波的叠加原理出发,同时考虑到声波的相位差别、强度分布和声波波长λ远大于音叉横截面尺寸d的具体情况,用两种方法定性解释这个现象。插图中的实线圆弧和虚线圆弧分别代表密部和疏部或反相的波面,而各处声音强弱则以文字注明。

简介：