首页 > 《中国惯性技术学报》 > 2002年4期 > 感应耦合等离子刻蚀技术研究

感应耦合等离子刻蚀技术研究

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要依据感应耦合等离子体的刻蚀机理,对影响刻蚀的两个重要参数及先进的硅刻蚀技术进行了较深入的研究,并对影响刻蚀效果的参数进行了实验研究,刻蚀出了20μm深,2μm宽的谐振器结构,得到了最佳的工艺参数.

DOI 54yw3z89j0/1941052

作者樊红安;蒋军彪;冯培德;王小斌

机构地区不详

出处《中国惯性技术学报》 2002年4期

关键词感应耦合等离子体干涉刻蚀谐振器硅刻蚀

分类 [理学][力学]

出版日期 2002年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1王春栋;李幸和;顾爱军;赵金茹;刘国柱. 0.8μm多晶栅等离子刻蚀研究.物理电子学,2010-08.
2卢杨. 电感耦合等离子体质谱分析.建筑技术科学,2021-10.
3李军;邓启斌;桂应春. 等离子体点火技术研究动态.火炮、自动武器与弹药工程,2002-03.
4邹雨桐,禹松林,邱玲. 电感耦合等离子体质谱技术的临床应用与研究进展.医药卫生,2020-10.
5曲树蓬. 电感耦合等离子体质谱仪的维护和保养.建筑技术科学,2021-04.
6徐署东,张克梅,许娴,常洪,刘婷婷,虞晨,李卫东. 电感耦合等离子体质谱法直接测定尿砷的方法研究.医药卫生,2020-11.
7杜雨沙朱丽辉沈凯盛华峰. 连用技术在电感耦合等离子体质谱分析中的应用.建筑设计及理论,2017-12.
8崔晓龙马婧（等同第一作者）. 国内低温等离子体灭菌技术研究进展.建筑设计及理论,2019-11.
9余兴. 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱新进展.化学,2012-01.
10赵少华马丽蓉. 电感耦合等离子体质谱法测定尿中汞.临床医学,2017-04.

来源期刊

中国惯性技术学报

中国惯性技术学报

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

感应耦合等离子体干涉刻蚀谐振器硅刻蚀

返回顶部