简介:摘要:随着数字数控机床和加工平台的产生与发展,机械零件的加工方式也向着大批量、专一化方向发展。导致对机械零件的需求也逐渐加大,零件的尺寸和表面加工质量是否符合标准使用要求是影响机械零件正常工作的关键,因此,对机械零件的光学超精密检测成为主要研究任务。机械零件表面的加工质量和尺寸大小虽然对零件的正常使用影响较低,但直接影响零件的可靠性、质量和使用寿命,而机械零件使用时间决定零件经济效益。随着光学超精密加工技术的不断发展,零件光学超精密加工检测技术已成为超精密加工迫在眉睫的关键难题。人工智能技术是一种新兴的用于模拟、延伸和扩展的智能理论、方法、技术及应用系统的一门新的技术科学。人工智能技术中的机械学习法,使机械零件的光学超精密检测过程大大简化,并将操作结果保存在存储器中,便于后续光学超精密检测过程的快速执行。
简介:摘要:近年来,随着工业领域如微型机械制造、集成电路制造、生物医疗等众多领域的不断发展,与之相关的设备对精度的要求也越来越高。而被誉为半导体工业皇冠上明珠的光刻机,集合了高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、自动化、图像识别等多项顶尖技术,是超精密加工技术的集大成机器。其中,运动台系统用于定位晶圆做精细运动,主要包括搬移、掩膜、对位、焦距校准等,是光刻机最为核心的分系统之一。在光刻过程中,要求扫描和定位精度要达到纳米级,则需要同时追求运动指标和精度指标。因此,本论文针对光刻机运动台系统,从复合控制、同步控制以及主动减振控制三个角度进行控制方法的研究,以提升光刻机的曝光质量和产率。
简介:摘要本文研究了超精密加工技术在半导体产业中的应用。首先概述了超精密加工技术的定义、发展历程、主要类型及其特点与优势。接着,分析了半导体产业的现状、市场需求以及发展趋势与挑战。在此基础上,详细探讨了超精密加工技术在半导体材料加工、半导体器件制造以及半导体封装测试中的具体应用。通过案例分析,总结了超精密加工技术在半导体产业中的实践挑战与解决方案,并展望了未来的发展方向。本文的研究表明,超精密加工技术对提升半导体产品的性能、降低制造成本、推动产业升级具有重要意义。
简介:摘要随着国家经济的高速发展,我国的科学技术水平也在不断的提升。在现如今国家各行各业得到大力发展的时刻,现代化机械设计制造为国家的经济发展做出了巨大的贡献。如今,机械制造产品在国民生产总值中所占比重越来越大,因而想要提高机械产品的质量和生产率,使其达到人们心目中的高要求,我们就必须对现代化机械设计制造工艺及精密加工技术水平都进行提高,这样才能提高机械制造企业的核心竞争力,有对利于我国的经济可持续发展。基于此,本文将对现代机械设计制造工艺及精密加工技术二者进行详细的分析和探究,研究出二者的有利发展空间,提高其在机械制造企业中的重视度,为相关企业的发展提供有利的帮助。