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11 个结果
  • 简介:在不同的溅射功率和溅射时间下,使用磁控溅射设备制备了系列薄膜Si/Fe(P1W,T1s)和Si/[Fe(P2W,T2s)/NiO(P3w,T3s)]10。利用小角X射线衍射测量了样品的衍射强度分布,并分别计算出了Fe和NiO在不同溅射功率下的沉积速率。实验结果表明,在测量范围内沉积速率与溅射功率之间存在线性关系。

  • 标签: 磁控溅射 小角X射线衍射 沉积速率
  • 简介:利用脉冲激光沉积装置在钼筒上沉积镧氧膜,通过俄歇能谱仪确定其表面成分并进行定量分析,结合离子刻蚀对薄膜进行剖面分析,实验结果表明,除去薄膜表面少许C,O吸附外,本制备方法污染小,定量分析证明薄膜为富镧的镧氧薄膜。

  • 标签: 热阴极 薄膜 脉冲激光 表面
  • 简介:本文利用尖端集电原理,在射频平衡磁控溅射过程中通过施加衬底偏压沉积了Cu20薄膜。然后用原子力显微镜和掠入射x射线衍射仪对薄膜样品的形貌和结构进行表征。研究结果表明,不管施加的是正偏压还是负偏压,所制备Cu2O薄膜的形貌和结构相差不大,均呈现出疏松多孔和(111)择优取向的特点。进一步地,从尖端集电的角度对平衡磁控溅射沉积过程中的偏压效应进行了合理解释。

  • 标签: 尖端集电 偏压 多孔薄膜 磁控溅射
  • 简介:制作了准直型、L型及Z型等不同形状,不锈钢、花岗岩和水泥等不同材质的裂缝,测量了缝宽范围0~1.0mm、气体流速范围0~10m·s-1时的颗粒透过率,初步研究了亚微米颗粒在裂缝中的沉积行为.结果表明:准直光滑裂缝中颗粒沉积机理较简单,可以用经验公式较好地描述;曲折裂缝中碰撞机理的作用主要受流速的影响.材质对透过率的影响主要表现为工作面粗糙度的影响;对于工作面粗糙的裂缝,最易透过流速为1.0m·s-1,最易透过粒径为0.39μm.

  • 标签: 放射性颗粒 裂缝 沉积行为 泄漏 透过率
  • 简介:采用Skupsky理论作为讨论能量沉积均匀问题的基础。把不均匀性σnms分解为两个因子的乘积:一个因子取决于激光系统的几何配置:另一个因子取决于单束激光形成的能量沉积分布。按照几何光学的光路方程,追踪激光在靶球等离子体中的轨迹,计算激光在光路轨迹上的能量沉积(通过逆韧致吸收机制),求得激光在靶球上能量沉积的空间分布,并在此基础上进行能量沉积的均匀性研究。

  • 标签: 能量沉积分布 不均匀性 激光系统 耦合 光球 几何配置
  • 简介:纳米金刚石薄膜的沉积实验在自行研制的热丝化学气相沉积系统上完成。基体为金刚石微粉研磨和酸蚀后的硬质合金片,反应气体为CH4和H2混合气,V(CH4):V(H2)=1%-4%,基体温度800-1000℃,沉积时气压为0.8~2.0kPa。SEM观察表明,影响金刚石膜的表面形貌及粗糙度的关键参量是基体温度、反应气压及含炭气体的浓度,这些参数都会影响到薄膜的纯度、结晶习性和晶面完整性。沉积纳米金刚石薄膜工艺是通过高密度形核以及抑制金刚石膜在沉积过程中的晶粒长大来实现的。

  • 标签: 化学气相沉积系统 纳米金刚石薄膜 热丝法 反应气体 基体温度 金刚石膜
  • 简介:用离子束技术探讨了Si表面纳米Ti薄膜制备的可行性以及Ti薄膜组织结构与离子束工艺之间的关系。实验进行试样表面预处理、轰击离子能量、离子密度、温度、沉积时间等离子束工艺参数对单晶Si(111)表面沉积的Ti薄膜结构的影响。采用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)分析了Ti膜表面晶粒形貌,并用X射线衍射仪(XRD)和俄歇电子谱仪(AES)分析了Ti膜的结构和成分。由于残余气体的影响,Ti膜发生了不同程度的氧化,随温度升高和轰击离子强度增加氧化愈加明显。

  • 标签: 表面离子束辅助沉积 纳米薄膜 晶粒结构
  • 简介:目的:电泳沉积是一种简单且具有成本效益的涂层技术。其出色的形态特征控制,适用于制造需要每个组件层都具有其独特属性的固体氧化物燃料电池。本文旨在综述电泳沉积的最新进展、制备稳定悬浮液所需的关键因素以及通过电泳沉积技术制造固体氧化物燃料电池所涉及的相关参数。创新点:1.分析了维持悬浮液稳定性的关键参数,包括粒径和固体载荷等胶体相关参数以及介电常数和电导率等悬浮介质相关参数。2.讨论了这些参数对粒子流动性、电动电位和电泳沉积技术于固体氧化物燃料电池应用的综合效应。方法:1.对以往的研究进行综述,并总结电泳沉积技术制造固体氧化物燃料电池组件层的发展(表1),包括稳定悬浮液的制备以及电泳沉积工艺关键参数的优化。结论:鉴于每个固体氧化物燃料电池组件层都涉及不同类型的材料,且每种材料都需要特定的参数来实现有效沉积,因此,为了获得各组件层所需要的性能,制备悬浮液配方的正确性和电泳沉积工艺的优化显得至关重要。

  • 标签: 固体氧化物燃料电池 电泳沉积 悬浮稳定性 电动电位 胶体
  • 简介:以TiC14为源物质采用常压化学气相沉积法制备了TiO2薄膜。用紫外光谱测定了膜的透过率,进而计算出折光率、消光系数、光学带隙能等光学参数。结果发现,在不同气流量、沉积温度为100~250℃的条件下制备的TiO2膜,其折射率在2.16~2.82范围内,消光系数在0.04×10-3~6.70×10-3范围内,光学带隙能在2.8~3.08eV范围内。在光催化作用下,TiO2膜用于处理苯酚溶液,苯酚的转化率高达54.05%。关键词##4化学气相沉积(CVD);沉积率;折光率;消光系数;光催化更多还原

  • 标签: 化学气相沉积(CVD) 沉积率 折光率 消光系数 光催化
  • 简介:研究目的:通过比较沉积物运移的不同标准,经选优得出更高精度的标准。创新要点:使用更少的参数和分情况来获得高精度的设计标准。研究方法:1.按状态将下水道中沉积物分成两类:没有沉淀的沉积物和沉淀的推移质;2.利用已有设计标准的方程,运用非线性回归和MINITAB软件,得到不同情况下的最佳方程式;3.用实验所得的值对各方程预测值进行验证,比较各方程式的预测精度。重要结论:1.本文提出的方程式可以预测不同情况下的沉积物运移;2.相比于其它标准,本文提出的方程式形式简单、所需参数少和参数估计简单,并且预测精度更高。

  • 标签: 沉积床 推移质 沉积限制 沉积物 下水道
  • 简介:目的:水合物沉积物开采过程是一个热。水.力.化多场耦合过程,该过程包含了不同土层间的热对流、压缩引起的局部变形以及胶结结构破坏引起的应力松弛。不适当的开采会引起出砂、塌孔等破坏问题。本文旨在建立天然气水合物沉积物多场耦合计算模型,以量化由开采引起的地质灾害风险。创新点:1.通过GOMSOLMultiphysics实现水合物开采过程多场耦合有限元控制方程的计算:2.建立的模型考虑变形.渗流双向全耦合过程。方法:1.通过理论推导,给出开采天然气水合物过程模拟的控制方程;采用偏微分方程模块实现除力学之外其他物理场的耦合计算;采用结构力学模块实现变形计算。2.通过与试验数据进行比较验证模型的可靠性。3.通过对比全耦合模型与半耦合模型,分析双向耦合对水合物开采过程中沉积物物理力学行为的影响。结论:1.所建立模型能够精确模拟水合物开采过程中沉积物的物理力学行为。2.当考虑压缩对渗流的影响时,由于孔隙率的降低,计算得到的水合物分解速度要小于不考虑该影响时的速度。3.由于存在层间对流效应,非均质模型计算得到的水合物分解速度要快于均质模型。

  • 标签: 水合物沉积物 多场耦合模型 COMSOL 产气