简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。
简介:为科学预测空域扇区空中交通管制员工作负荷,准确把握管制员行为特征,研究了空中交通管制员工作负荷分布规律以及工作负荷与管制复杂度间关联性。在对管制员工作负荷进行分类计算基础上,分析了单架航空器管制员工作负荷的概率分布情况;从空域复杂度和交通流复杂度2个层面构建了航路扇区管制复杂性评价指标体系,借助熵权法和灰色关联度分析法计算管制复杂性系数,进而分析了管制员工作负荷与管制复杂性间关联性。实例分析表明,管制员工作负荷分布具有较强规律性,即单架航空器管制员工作负荷服从对数正态分布,且管制员工作负荷与扇区管制复杂性间具有较强关联性,管制复杂性系数超过0.84时工作负荷将急剧上升。