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  • 简介:文章通过对多晶薄膜的性质和多晶电阻形成工艺的稳定性研究,剖析在生产过程中三种形成多晶电阻主要工艺的波动情况,并对形成工艺波动的原因和控制方法进行了讨论。同时对于采取控制方法以后的多晶电阻的工艺情况进行分析,证明提高多晶电阻制造工艺稳定性必须提高多晶淀积和离子注入工艺能力,以及如何提高多晶淀积和离子注入的受控。最后对采取控制措施后的多晶电阻的改善效果进行回顾,说明离子注入工艺采取除气和多晶淀积隔片放置方式有效地提高了多晶电阻工艺的稳定性。

  • 标签: 多晶电阻 离子注入 多晶淀积 方块电阻和均匀性
  • 简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。

  • 标签: 多晶电阻 晶粒 淀积速率 四探针法测试电阻
  • 简介:摘要本文主要介绍热电阻多晶硅生产行业中的应用,即现代自动化程度较高的工业生产中关于热电阻的测量原理,使用的接线方式和校验过程以及热电阻的选型,同时也对热电阻运行过程中出现的问题提出了解决方案,确保生产安全。

  • 标签: 热电阻 接线方式 校验方法 故障与维修
  • 简介:在亚微米工艺中,多晶栅TiSi工艺是降低接触电阻的常用方法。但是TiSi的生长与衬底的掺杂浓度相关,对多晶栅的掺杂剂量有很高的要求。由于光刻工艺中存在的套刻偏差,使得后续源漏注入剂量会在多晶栅上有所偏差,影响了后续TiSi在多晶栅上的生长。文章采用多晶栅上生长一层LPCVDSiN作为掩蔽层的方法,避免了由于光刻套刻偏差引入的注入剂量偏差,改善了后续多晶栅上TiSi的生长。通过对As注入和P注入在不同SiN厚度掩蔽层下穿透率的研究发现40nm左右基本可以阻挡95%的N+S/DAs注入剂量而保留80%的多晶栅P注入剂量。该种掩蔽层方法有很多优点:源漏注入的条件不用更改;多晶栅注入的可调节剂量范围大大增加,可以更好地保持重掺杂多晶栅特性。

  • 标签: 硅化钛 多晶栅 掩蔽层
  • 简介:1.知道电阻是表示导体对电流阻碍作用大小的物理量,认识电阻的符号、单位.2.知道导体电阻的大小与其材料、长度、横截面积和温度等特性有关.

  • 标签: 导体电阻 阻碍作用 横截面积 物理量 电流
  • 简介:多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料,多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如,在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面,远不如单晶硅明显;

  • 标签: 多晶硅 单晶硅 晶面取向 物理性质 力学性质 各向异性
  • 简介:摘要:随着光伏产业的蓬勃发展,国内多晶硅行业短短十几年就达到了产量世界第一,生产成本世界先进。在多晶硅行业规模经济时代,加上电价政策和光伏补贴因素的影响,各多晶硅厂商进入加速淘汰阶段。然而,在高质量电子多晶硅的生产中,由于缺乏可靠的技术支持,他们一直进展缓慢。基于此,以下对结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点进行了探讨,以供参考。

  • 标签: 多晶硅国家标准 电子级多晶硅 生产控制要点
  • 简介:摘要:随着光伏产业的蓬勃发展,国内多晶硅行业短短十几年就达到了产量世界第一,生产成本世界先进。在多晶硅行业规模经济时代,加上电价政策和光伏补贴因素的影响,各多晶硅厂商进入加速淘汰阶段。然而,在高质量电子多晶硅的生产中,由于缺乏可靠的技术支持,他们一直进展缓慢。基于此,以下对结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点进行了探讨,以供参考。

  • 标签:         多晶硅国家标准 电子级多晶硅 生产控制要点
  • 简介:物理概念是学习和研究物理知识的重要工具之一,一个物理概念的形成是正确理解该概念的关键.纵观初中物理的力学、热学、电学等几类概念中,其中较难以形成和理解的当数电学概念.因为电学许多概念难以有直观的表面印象,敌而形成上有无据可依、无言可发的感觉,因此难以直接形成.正是针对这个问题,人们建立了一些直观的模型来形成概念.例如:电流概念的形成

  • 标签: 物理 电阻 电学概念 初中 电压
  • 简介:对N阶电阻网络等效电阻进行了研究,应用虚拟电流法给出了这类问题的两个普适规律,并将所得结果与其它相关结果进行了比较

  • 标签: N阶 电阻网络 虚拟电流 等效值
  • 简介:摘要多晶硅项目工艺复杂,建设质量要求较高,资金投入量大,因此在建设期应做好投资预算和成本控制,针对工程项目的特点进行有效的管理,合理控制造价,确保建设资金的合理利用。

  • 标签: 投资 造价控制
  • 简介:近日,美国和韩国一些企业的多晶硅以每公斤21美元的低价涌人中国,而国内企业产品价格一般是35美元左右,从去年下半年开始,国内多晶硅市场进入了一个非常寒冷的“冬天”。2012年,全球多晶硅总体产能预计为32.8万吨,比去年的28.5万吨增长15%。相比之下,今年全球多晶硅需求预计只有19.6万吨,比2011年的20.5万吨减少4%左右。

  • 标签: 多晶硅 低价 国内企业 产品价格 市场进入
  • 简介:放眼世界,到处是花红柳绿,莺啼蛙鸣;而理性思维下的物质世界更是神奇得令人叫绝.不是吗?大家都知道,导体就是容易导电的物体,导体电阻的大小与很多因素有关,它们可以让电流通过,但是对电流的通过又都有一定的阻碍作用,而且在不同情况下对电流的阻碍作用是不同的,所以其应用也是各不相同的.为什么有这样的差异呢?这是因为不同电阻的脾气不同,.下面我们还是通过实例一起来体验其神奇之处吧!

  • 标签: 导体电阻 物质世界 阻碍作用 理性思维 电流 导电
  • 简介:摘要本文浅述笔者在探索高中电学实验教学;实施素质教学的途径和教改的新思路。以及经验供同行借鉴。

  • 标签: 测电阻 电压表 内接法
  • 简介:温度指示计中使用了一个关键的元件——热敏电阻,这是一种敏感元件,形状有球状、片状、针状等,可以敝得很小,有的只有米粒大小,最小的直径只有0.15毫米或几微米。

  • 标签: 热敏电阻 敏感元件 温度指示
  • 简介:摘要随着国民经济的发展跟城网供电电压等级升高,交联聚乙烯电缆凭借合理的结构、工艺、优良的电气性能等优点,在国内外被越来越广泛的使用。但随着电缆用量的不断增大,各种问题逐渐引起人们的关注,如导体电阻的测量,在生产成本方面,电线电缆的主要投入都在铜导体的使用上,电阻值的高低对于居民的生活影响,对于整个社会发展影响巨大,所以导体电阻的测量显得尤为重要。

  • 标签: 导体电阻 直流电阻 交流电阻 集肤效应
  • 简介:摘要电阻概念既重要又抽象,教师应通过典型事例,运用实验、讨论等多种教学手段,在唤起学生原有认识的基础上,加深学生对电阻的再认识,从而使学生温故而知新。

  • 标签: 电阻 澄清 再认识