高精度电阻、电容形成技术-中国期刊网

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（整期优先）网络出版时间：2004-02-12

作者: 吴晓鸫;徐政;何磊

电子电信 >物理电子学

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本文介绍了几种集成电路物工艺中高精度电阻和电容的制作方法.

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集成电路电阻电容形成技术制作工艺

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