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高精度电阻、电容形成技术

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摘要本文介绍了几种集成电路物工艺中高精度电阻和电容的制作方法.

DOI 7dml5y0rjn/2222578

作者吴晓鸫;徐政;何磊

机构地区不详

出处《电子与封装》 2004年2期

关键词集成电路电阻电容形成技术制作工艺

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2004年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

电子与封装

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集成电路电阻电容形成技术制作工艺

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