首页
期刊导航
期刊检索
论文检索
新闻中心
期刊
期刊
论文
首页
>
《北京同步辐射装置年报》
>
1997年1期
>
纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究
纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究
(整期优先)网络出版时间:1997-01-11
作者:
叶甜春;吴沐新;等
核科学技术
>核技术及应用
分享
打印
同系列资源
资料简介
本文报道了作者在同步辐射X射线光刻研究中的一些新进展,其中,最细尺寸已达50纳米。
/
1
本文报道了作者在同步辐射X射线光刻研究中的一些新进展,其中,最细尺寸已达50纳米。
同系列内容
《北京同步辐射装置年报》1997年1期 - 纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究
1997-01-11
3830
《北京同步辐射装置年报》1997年1期 - 北京同步辐射软X射线装置与软X射线探测器标定
1997-01-11
4687
《北京同步辐射装置年报》1997年1期 - 用角分辨光电子谱研究有序和突变的f.c.c.Fe/Cu{111}的界面
1997-01-11
6188
《北京同步辐射装置年报》1997年1期 - 软X射线作用下的InP表面微结构
1997-01-11
3188
《北京同步辐射装置年报》1997年1期 - 用ARUPS研究在Cs/Ru(1010)面上的CO分子轨道对称性
1997-01-11
5184
查看全部
来源期刊
北京同步辐射装置年报
1997年1期
相关推荐
同步辐射X射线干涉的实验研究
同步辐射X射线驻波实验技术研究半导体超薄异质外延层
古陶瓷的同步辐射X射线荧光分析研究
同步辐射X射线掠入射衍射实验技术及应用
北京同步辐射X—射线荧光微束分析进展
同分类资源
更多
[核技术及应用]
Study of talcum charging status in parallel plate electrostatic separator based on particle trajectory analysis
[核技术及应用]
Characteristics of a Collisional Sheath Biased by a Dual Frequency Source
[核技术及应用]
Electrochromic Properties of Sputtered Ti-Doped WO3 Films
[核技术及应用]
有机双官能化MSU-X介孔分子筛的合成
[核技术及应用]
Study of Crosslinking Copolymerization and its Fractal behavior of styrene—Divinylbenzene
相关关键词
纳米尺寸
同步辐射
X射线光刻技术
半导体
掩模
纳米光刻
纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究
/
1
重新阅读
+在线打印
返回顶部