首页 > 《北京同步辐射装置年报》 > 1997年1期 > 纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究

纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要本文报道了作者在同步辐射X射线光刻研究中的一些新进展，其中，最细尺寸已达50纳米。

DOI 0dp69g7oj2/1407121

作者叶甜春;吴沐新;等

机构地区不详

出处《北京同步辐射装置年报》 1997年1期

关键词纳米尺寸同步辐射 X射线光刻技术半导体掩模纳米光刻

分类 [核科学技术][核技术及应用]

出版日期 1997年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1蒋建华;王林;等. 同步辐射X射线干涉的实验研究.核技术及应用,1998-01.
2姜晓明;施斌;等. 同步辐射X射线驻波实验技术研究半导体超薄异质外延层.核技术及应用,2000-01.
3黄宇营;冼鼎昌;等. 古陶瓷的同步辐射X射线荧光分析研究.核技术及应用,2000-01.
4姜晓明;蒋最敏;等. 同步辐射X射线掠入射衍射实验技术及应用.核技术及应用,2000-01.
5黄宇营;李光城;等. 北京同步辐射X—射线荧光微束分析进展.核技术及应用,2000-01.
6崔明启;崔聪悟;等. 北京同步辐射软X射线装置与软X射线探测器标定.核技术及应用,1997-01.
7崔明启;崔聪悟;等. 北京同步辐射软X射线装置与软X射线探测器标定.核技术及应用,1998-01.
8郑文莉;贾全杰;姜晓明;蒋最敏. Ge薄层异质结构的同步辐射X射线反射法研究.物理,2001-02.
9郑海飞;黄宇营;等. 同步辐射X射线荧光分析的晶态物质衍射影响.核技术及应用,1997-01.
10何伟;林克湘;钟兴水;夏诗全;李葵发;黄宇营;李劲. 单个流体包裹体同步辐射X射线荧光微束无损分析.核技术及应用,2001-01.

来源期刊

北京同步辐射装置年报

北京同步辐射装置年报

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

纳米尺寸同步辐射 X射线光刻技术半导体掩模纳米光刻

返回顶部