微观表面形貌检测方法及其发展

零件表面的微观几何形貌在很大程度上影响着它的使用性能.本文论述了微观表面形貌检测方法的发展历史,分析了接触式和非接触式测量表面形貌的特点,重点阐述了常见的光学测量方法,并对其进行了比较.并重点分析了光学干涉法、触针法的基本特点.