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微观表面形貌检测方法及其发展

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摘要零件表面的微观几何形貌在很大程度上影响着它的使用性能.本文论述了微观表面形貌检测方法的发展历史,分析了接触式和非接触式测量表面形貌的特点,重点阐述了常见的光学测量方法,并对其进行了比较.并重点分析了光学干涉法、触针法的基本特点.

DOI 3j73xwnv41/1358129

作者夏阳;黄进凡

机构地区不详

出处《湖北农机化》 2014年3期

关键词微观表面形貌非接触测量接触式测量干涉法

分类 [农业科学][农业工程]

出版日期 2014年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

湖北农机化

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微观表面形貌非接触测量接触式测量干涉法

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