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光放大、控制与器件

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摘要运用四极质谱计对微光成像器件的制管工艺质量进行大量质谱分析监测,分清了各道工序污染对制管的影响。通过对制管工艺进行改进,使制管成品率提高了50%。

DOI g4qxxrmnj8/700948

作者

机构地区不详

出处《中国光学》 2004年4期

关键词半导体光放大器四极质谱计成像器件波长转换工艺质量分析监测

分类 [理学][物理]

出版日期 2004年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国光学

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