电子枪扫描控制技术

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摘要 开展了扫描控制工艺研究,找到了扫描稳定性控制工艺的基本要素,从膜料预熔、挡板打开前的预扫描、挡板打开后的扫描几个方面进行优化,改进了扫描工艺,有效提高了镀膜蒸发的稳定性。
机构地区 不详
出版日期 2006年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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