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直流反应磁控溅射TiN薄膜表面形貌研究
直流反应磁控溅射TiN薄膜表面形貌研究
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摘要
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DOI
pj0ll3g0jy/4155227
作者
李丽1吴卫2杨翠丽1
机构地区
李丽1吴卫2杨翠丽1
出处
《赤子》
2012年2期
关键词
TiN薄膜
反应磁控溅射
AFM
RMS
分类
[社会学][]
出版日期
2012年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
赤子
2012年2期
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