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65 个结果
  • 简介:针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化硅复合薄膜构成,既便于实现与硅微检测质量和FBAR的IC兼容集成加工,也利于改善微加速度计的灵敏度和温度稳定性。对由氧化硅/氮化硅双层复合膜片-硅检测质量惯性力敏结构和氮化铝FBAR检测元件集成的膜片上FBAR微加速度计进行了初步的性能分析,验证了该结构的可行性。通过有限元模态分析和静力学仿真得出惯性加速度作用下膜片上FBAR结构的固有频率和弹性膜片上的应力分布;选取计算所得的最大应力作为FBAR中压电薄膜的应力载荷,结合依据第一性原理计算得到的纤锌矿氮化铝的弹性系数-应力关系,粗略估计了惯性加速度作用下氮化铝薄膜弹性系数的最大变化量;采用射频仿真软件,通过改变惯性加速度作用下弹性常数所对应的纵波声速,对比空载和不同惯性加速度作用下加速度计的谐振频率,得到加速度计的频率偏移特性和灵敏度。进一步分析仿真结果还发现:氧化硅/氮化硅膜片的一阶固有频率与高阶频率相隔较远,交叉耦合小;惯性加速度作用下,谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数kHz/g,其加速度-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性。

  • 标签: 微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 微加速度计 灵敏度
  • 简介:AlaminarpremixedPropane/Airflamewithafuelequivalenceratioof2.1wasemployedforanalysisofsootparticles.Zeroth-orderIognormaldistributions(ZOLD)wereusedintheanalysisofexperimentaldistributionphenomenaatdifferentresidencetimesduringsootformationintheflame.Rayleigh'stheoryandMie'sscatteringtheorywerecombinedwithagglomerateanalysisusingscatteringandextinctiondatatodeterminethefollowingsootcharacteristics:agglomerateparameters,volumetricfractions,massflowratesandsurfacegrowthrate.Sootdensitymeasurementswerecarriedouttodeterminedensityvariationsatdifferentstagesofgrowth.Themeasuredresultsshowthatmetricfractionandmassflowrateindicatethatthesurfacegrowthrateofsootparticlesexceedstheoxidationratesintheflamestudied.Thedataobtainedinthisworkwouldbeusedtostudysootoxidationrateunderflamingcondition.

  • 标签: 烟灰颗粒 凝聚参数 表面生长速率 密度 ZOLD 零次对数正态分布
  • 简介:介绍了某液浮陀螺仪定位壳体温度场模型,利用有限元分析软件ANSYS对其等效温度场进行分析,得出其温度场分布的精确量化结果,为惯导系统建立起最初的热源,并通过实验验证了分析结果的正确性,为后续的平台热设计研究提供了重要的参考依据.

  • 标签: 船舶导航设备 液浮陀螺仪 温度场 有限元分析 边界条件
  • 简介:提出了一种在带有反转平台的精密离心机上标定陀螺加速度计二次项系数丘的方法。阐述了其测试原理,指出这种带反转平台的测试原理改善了PIGA离心机测试的环境条件。所提出的测试方案和辨识方法解决了陀螺加速度计在精密离心机上进行高占测试时,受到离心机大臂旋转牵连运动影响的关键问题,并提出分离和精确标定陀螺加速度计二次非线性项系数届的数据处理方法,解决了反转平台引入后造成的正弦输入问题。

  • 标签: 陀螺加速度计 离心机 反转平台 测试技术