简介:摘要:多晶硅是电子及光伏产业广泛使用的重要半导体和光电子材料。西门子现代化方法是多晶硅生产的主要技术,占多晶硅产量的80%以上。在多晶硅生产过程中,三氯硅合成(TCS)、三氯硅、四氯化硅冷氢化(STC)以H2的形式生成不同量的硅。文献表明,氯硅烷含有以STC为主的硅烷、以Si2Cl6为主的硅烷、以Si3Cl8为主的硅烷、少量的硅粉和金属氯化物,其中以Si2Cl6为主的硅含量最高,通过工艺对Si2Cl6进行重组分离气相色谱分析,得出139-142℃沸腾溶液中STC冷氢和TCS计算结果表明,约84.03%的SICL6来自STC冷加氢,其余15.97%的SICL 6来自TCS+H2还原过程。虽然许多学者在分析低多晶硅的组成方面做了大量的工作,但大部分都集中在高附加值的Si2Cl6上,缺乏系统的深入分析。
简介:【摘 要】: 多晶硅是半导体行业和太阳能电池产业的主要生产原料,在进行生产工作的过程中,通常采用改良西门子法,整体生产工艺还在不断研究完善中,从国内的发展情况来看,通常依靠进口原料进行多晶硅产业的生产工作,但是随着我国多晶硅的生产需求越发增加,传统工作模式下所使用的多晶硅制作方式,也较难以解决当前阶段的生产需求。在生产多晶硅物质的过程中,会出现大量的中间产物,比如四氯化硅,二氯二氢硅等。在开展生产工作的过程中,如果有效 地 进行中间产物的回收利用工作,那么会导致整体效益降低。在开展多晶硅生产的过程中,如果不进行中间产物的分析和利用工作,那么就放弃了获得更大经济效益的发展途径。因此多晶硅中间产物的回收利用工艺有更大程度的发展潜力。本文主要进行中间产物生产情况的介绍工作,了解中间产物的主要来源和造成危害,同时分析中间产物的利用情况,其中主要进行四氯化硅回收利用的分析工作,旨在为多晶硅生产行业提供具有总结价值的参考依据。
简介:摘要:尾气回收是多晶硅生产的重要环节,不仅可以减少污染环境,还可以降低生产成本。多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等的关键材料。随着电子信息产业和太阳能光伏产业的快速发展,市场对多晶硅的需求不断增加。目前,制备多晶硅的主流工艺为改良西门子法,此法中三氯氢硅在还原炉内被氢气还原成晶体硅,进入还原炉的三氯氢硅仅有8%—10%左右转化成多晶硅,还原尾气中含有大量未反应的生产原料氢气(H1)、三氯氢硅(SiHCL3)和反应副产物四氯化硅(SiCl4)、氯化氢(HCL)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)。因此对还原尾气回收综合利用既能实现物料循环利用,减少原料投入,降低多晶硅生产成本,又可以大大减少三废排放,保护环境。
简介:摘要:光伏用多晶硅材料要求含Si>99.9999%(6个N)以上,电子级多晶硅达到99.9999999%(9个N)以上。因其具有高纯度的特点,在整个生产过程中,对产品质量的控制要求很高。目前,生产多晶硅主要采用改良西门子法,因其转化效率一般为13%左右,大量的尾气需要回收利用,才能获得较好的经济效益与环境效益。多晶硅生产的尾气主要有还原尾气、氢化尾气和三氯氢硅合成尾气,尾气中的主要成分包括三氯氢硅(TCS)、二氯二氢硅(DCS)、四氯化硅(STS)、氢气、氯化氢等气体。各工序带来的尾气成分基本相似,但所含微量杂质不尽相同。其中还原炉内的尾气除了带有部分无定型硅之外相对较干净,氢化炉由于使用了热场材料,尾气成分总C含量增加,合成尾气则含有较高的硼(B)、磷(P)杂质和细颗粒硅粉杂质。如何有效的将这些尾气成分进行分离、提纯和回收,是决定多晶硅产品质量和生产成本的关键因素。本文主要分析多晶硅生产中尾气分置回收及应用。