电子级多晶硅生产技术分析

摘要：电子多晶硅是制造半导体硅片最基本、最重要的原材料之一，被称为电子信息产业的“粮食”。其纯度需要达到11N。如此高的纯度对制备技术、检测技术和质量管理提出了极高的要求。长期以来，电子级多晶硅的制备技术一直被美国、德国、日本等西方国家封锁。因此，国内使用的电子级多晶硅几乎完全依赖进口，存在被“卡住”的风险。近年来，我国企业如青海黄河上游水电、江苏新华等在电子多晶硅方面取得了一些技术突破，但仍存在发展瓶颈。基于此，对电子级多晶硅生产技术进行研究，以供参考。

• 作者: 杜静雅
• 出处: 《中国科技信息》 2022年8期
• 关键词: 电子级 多晶硅 生产技术
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