简介:摘要本文提出了一种相移掩模(PSM)在国产清洗机PMC1500上清洗时phase掉落幅度控制的方法。在相移掩模制备过程中,影响phase值大小的因素较多,干法蚀刻的时间,清洗工艺等对相移掩模的phase值都有很大的影响。177°—183°的phase大小,是PSM版在晶圆工厂使用的常规要求,研究中提出了对相移掩模清洗phase值掉落的控制,在保证清洗能力的情况下,通过对清洗过程中影响phase值掉落的重要因素进行改良,清洗流程包中包含SPM清洗以及SC1清洗的工艺,通过逐一改变SPM以及SC1的清洗条件,实现对PSM掩模phase值掉落的控制研究,最终确定了SC1清洗工艺时间对PSM掩模phase掉落的影响较大,通过控制SC1的清洗工艺方式,有效地控制PSM掩模清洗时phase值的掉落。
简介:[摘要内容]:使用钢木复合龙骨形式代替传统木方用于工程模架体系,可大大提高模板龙骨材料周转效率,节约企业成本,减少木材浪费,在提高经济效益的同时促进资源可持续性发展。
简介:摘要建筑业新技术应用不断发展、不断进步的背景下,如何适应国家提出的绿色施工、节能减排大战略,如何高效、环保的使用建筑材料,提高建筑材料的使用效率,减少对材料的损耗及浪费,已经是未来建筑施工企业发展理念及科技创新的发展方向。但往往在施工过程中木模板的周转使用率较低,因传统施工工艺水平及模板加固体系的要求,需要对模板进行打眼开孔,这对于模板本身的质量乃至周转使用都有较大影响,是降低使用寿命的原因。而地下室结构中墙体模板使用量又较为庞大。对于建筑施工企业来说,这是高能耗、高成本的建筑辅料,不利于节约材料、降低成本、低碳环保的绿色施工发展。基于此,我们注重技术创新与开发,重新设计研发出一套地下室墙模不开孔施工工法。