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基于微动平台超精密微运动测量技术研究

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摘要摘要微纳制造技术给计量科学和计量仪器提出了新的测量任务，测量精度要求达到纳米级。研制低成本高精度的新测量方法已成为开发MEMS产品的迫切需要。在设计开发MEMS时，其系统功能主要是通过微结构的微小位移和变形来实现,MEMS微小位移和速度等微运动的测量成为开发MEMS的重要内容。

DOI odw6vzxy4k/3045080

作者邵秋峰1，王芳1，贾丽笑2

机构地区 (1装甲兵工程学院，北京，100039；2燕山大学，秦皇岛，066004）

出处《科技中国》 2016年6期

关键词微运动微纳技术微测量

分类 [文化科学][]

出版日期 2016年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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