简介:摘要:近年来,社会进步迅速,随着科学技术的不断发展,以半导体集成电路为代表的各类型微电子产品技术发展迅速,不断推动着人类科技的进步。现代电子产品不断微型化、精密化,同时要求高质量和高可靠性。以人们日常所熟知的智能手机、电脑、硬盘等电子产品为例,它们所使用的CPU、相关芯片、电子元器件、LCD等组件的生产,都要求在严格受控的环境条件下进行。在电子工业中,又以超大规模集成电路(VLSI,VeryLargeScaleIntegrationCircuit)的生产过程为代表,对生产环境有着极其严格的要求。集成电路的制程工艺从70年代的10µm不断快速发展至今,目前线宽为7nm的集成电路已进入大规模生产。线宽不断变窄使得VLSI洁净生产环境不仅对空气中受控粒子尺寸的要求愈发严格,还需要严格控制生产环境的化学污染物和直接与产品生产过程接触的各种介质,如高纯水、高纯气体、化学品等的纯度和杂质含量。因此,控制空气中受控粒子的净化空调系统,作为维持洁净生产环境的基础系统之一,变得越来越重要,对其自控系统的性能、稳定性、可靠性的要求也越来越高。
简介:摘要:近年来,高速列车在我国有了长足的发展,制动系统作为高速列车行车安全的重要组成之一,对空气管路洁净度的要求非常高。本文着重分析高速列车制动系统空气管路洁净度保证的方法。
简介: 摘要: 剪力墙结构的施工及质量控制可谓重难点,剪力墙钢筋绑扎不规范,模板加固不到位,混凝土浇筑方式不合理等因素,导致剪力墙浇筑质量及成型效果较差.