简介：摘要：晶圆测试是半导体封测的生产的重要环节。晶圆测试中，探针与其对应测试垫的位置对准非常关键。但该技术在准确性和效率方面仍有不足。尽管探针痕迹自动检测技术逐渐成熟，但利用探针痕迹对针位进行修正的主流方法仍为手动或者半自动，导致自动生产过程中断。随着图像处理水平的提高，从针痕自动检测时采集的图片中，可以快速准确的提取针痕和测试垫的几何信息，进而利用刚体运动模型和最小二乘拟合计算出最优修正参数。应用该方法于探针测试控制系统，开发出新型探针与测试垫对准修正系统。该系统部署在服务器端，通过网络与探针机通信，使图像采集、信息处理、修正控制全部自动化、标准化，提高了准确性和生产效率。 关键词：探针对准；探针痕迹处理；刚体运动；最小二乘 一、简介 晶圆测试工序是芯片封测流程的重要步骤，主要是对晶圆上的裸晶颗粒进行电性测试，筛选出良品送入后续封装环节。进行电性测试，需要通过大量探针连接测试资源和待测裸晶颗粒，每颗探针都需要准确可靠的接触裸晶颗粒上的对应金属测试垫。不良接触严重影响测试效果，甚至，探针接触到测试垫有效区域外面，产生结构缺陷，如裂纹，影响芯片可靠性。尤其近年来芯片集成度不断提高，边长40微米的方形测试垫越来越多的出现在产品中，对探针和测试垫的对准要求越来越高。而且，基于成本的考虑，测试并行度也在提升，同时测试上百个产品的测试方案越来越多，原有的对准方法在原理、速度方面不再适用。 通常，每个生产批次开始前，探针机要进行探针和测试垫的对准，之后进行探针与测试垫的试接触。会在测试垫金属表面留下探针痕迹，它反应了接触状况，影响测试效果和质量。因此，试接触后，要进行探针痕迹检查。对准是通过相机获取针尖和测试垫的位置信息计算的，针尖状态、探针滑动情况、对准系统误差等因素会影响对准效果。另外，提取针尖信息需要频繁对焦，速度较慢，限制了参与对准计算的针尖测试垫对的数量。因此，利用探针痕迹和测试垫的几何位置进行对准更加直接。 探针设备不断进步，可以在自动检测探针痕迹的同时，通过网络将相应图片传送到服务器。服务器上运行的离线对准系统对图片进行分析，识别探针痕迹和测试垫，提取其几何信息【1】，利用刚体运动模型和最小二乘拟合方法在探针机承载台平面内进行对准计算，产生沿承载台X、Y和θ轴的修正参数【2】。再远程控制探针机进行位置修正，改善接触情况。对于高并行度测试，由于探针众多，需要处理大量针痕图片。在服务器端，利用人工智能技术和并行计算，可以大幅提高图像处理速度和准确性，减少延迟。且通过并行处理，使探针设备的运行不受影响，同时进行生产测试。该独立运行于服务器的对准系统可以直接接入探针机测试机系统，也可以通过其它控制系统接入测试系统。 二、传统探针对准方法及系统 晶圆测试阶段，晶片未切割封装，需要通过探针连接裸晶颗粒上的金属测试垫和测试资源，进行电性测试。测试开始前，探针台对探针和金属测试垫进行位置对准，修正X、Y、Z和θ轴的运动参数，减小平移和旋转误差，确保良好的接触效果。测试过程中，探针机承载台将晶圆运至探针卡下并升起，使测试垫与探针针尖接触。在接触处会留下探针痕迹。 如图1所示，传统对准方法包括三个步骤：自动探针对准，自动晶圆对准和手动修正。探针对准时，探针机相机依次移动到待测针尖处，测量针尖位置。由于该测量需要在Z轴方向上通过多次聚焦搜寻针尖准确位置，较耗时，每根探针平均需要2秒。因此，尽管探针卡针数不断增加，但是由于时间成本，通常只选择少数探针进行对准。当然抽样量小会产生较大的误差，尤其是某些针尖磨损或位置偏移时。晶圆对准时，探针台通过相机获取探针对准中所选探针的对应测试垫的位置信息。探针机利用这些针尖和测试垫的位置信息，进行拟合计算并初步设定探针机载物台运动参数，并按照该参数进行试接触。 试接触时，常出现误对准情况，即在X轴、Y轴或θ轴上存在较大误差。严重时导致针痕在测试垫上的位置显著偏移，超过测试垫边缘，产生质量风险，此类芯片视为废品（MIL-STD-883）。该问题更多是由θ轴的转动误差造成，而非X轴或Y轴的移动误差。这是因为转动误差依三角关系沿晶片直径转化为X和Y向误差并放大。常见现象是沿一方向各裸晶颗粒上的针痕偏移程度逐渐严重。即使没有显著的误差，针痕位置也会在几个微米的范围内波动。再考虑针痕尺寸通常大于10微米，对于如今常见的40微米的方形测试垫，挑战严峻。因此，如何使针痕尽量靠近测试垫中心而远离其边缘非常重要。这对于安装数千甚至数万根探针的针卡，极具挑战，需要巧妙的算法和强悍的算力。但目前仍然需要操作人员手动修正。 手动修正是为了削减探针台自动对准误差，尽量使所有针痕接近理想位置。如图1虚线框内所示，包括试接触、目检和调整三个步骤。首先通过试接触产生针痕，以反映当前对准情况。然后观察针痕并依经验判断误差情况。接着对X、Y和θ轴误差进行手动修正。再循环进行试接触、目检、修正，直到针痕位置比较理想，结束手动修正，继续生产。该步骤需要操作人员手动操作、人为判断，非常耗时。对于针数较多的产品，人为判断常不理想，尤其θ轴误差常需调整，占时超过5%。考虑大量针痕的情况并做出判断，直觉和经验不够准确，需要自动的、定量的计算解决该问题。 三、新型探针对准方法及系统 传统探针和测试垫位置对准存在两大问题，一是探针对准步骤虽然是自动化的，但由于在Z轴上频繁对焦而耗时，只能抽样少量探针，而Z向误差较大。二是手动修正步骤耗时且不够准确，对X、Y和θ上的误差的修正不理想。对于问题一，已有电学接触方法来快速准确的对Z轴参数进行修正。因此对问题二，需找到新方法来解决X、Y和θ轴参数修正问题。随着技术发展，探针机自动目检功能逐渐成熟，大量包括针痕和测试垫的清晰图片可以在自动目检运行的同时从探针机相机发送到服务器，延时很短，不会对生产过程和效率产生影响。这些图片包含着进行X、Y和θ轴对准修正的完整信息。而且，生产中针尖常常变形或者被污染，针尖图像噪声大于针痕图像。利用这些几何信息可以分析出如何调整，但需要大量运算。因此，在新对准系统中， 利用服务器进行该计算，可以减少探针机系统负载。这样，在自动针痕检查时，探针机将图片和相关信息发送到服务器，并通知服务器开始运行新型对准修正系统。 图1 传统与新型探针对准流程

简介：摘要：近年来随着我国改革全面深化，经济快速发展，房地产开发量不断增加，商品房价格飞速增长，因此房产测绘显得更加重要，各种先进仪器和技术不断应用到房产测绘过程中，促进了房产测绘的发展。

简介：摘要：目的 对低剂量胸部CT诊断肺癌和诊断准确率进行讨论。方法 选择本院在2019年8月至2020年8月收治的62例肺癌患者，对所有患者进行DR检查和低剂量胸部CT检查，以病理检查为金标准，对两组患者诊断灵敏度、特异度、准确率以及不同结节检出率进行对比。结果 低剂量胸部CT检查的灵敏度和准确率，显著高于DR检查，两种检查方式的特异度差异不具备统计学意义（P＞0.05）；低剂量胸部CT检查的不同结节检出率，显著高于DR检查方式，差异具有统计学意义（P＜0.05）。结论 低剂量胸部CT诊断肺癌效果出众，针对不同大小的结节都能取得理想的检出结果，值得在临床广泛推广。

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简介：摘要本期组织专家围绕季节性流感和动物流感病毒的基础研究、甲型H1N1流感和新冠病毒所致肺炎患者的临床特征、流感疾病负担以及促进老年人流感疫苗接种等发表论著或共识，阐述流感病毒特点、疾病特征、健康危害和经济影响、预防措施。这些研究强调了基础医学、临床医学、公共卫生与预防医学的融合在传染病防控中的重要作用。以群医学理念为指导，推动多学科融合，持续开展流感等传染病防治和大流行应对准备工作，既可夯实新发和突发传染病监测预警、预防控制、诊断治疗基础，也可提升突发公共卫生事件应急准备能力。

简介：摘要：在当前的机械加工中，影响机械加工准确度的因素仍然存在，这些误差对于机械行业的发展尤为不利。基于此，本文对机械加工误差方面的问题进行了简要的研究分析。结合当前机械加工过程中常见的误差及其产生的原因，从多个角度入手，探讨了消除机械加工误差的一系列解决措施，以供参考。

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简介：摘要：随着经济社会的不断发展，机械加工行业在经济发展中发挥着越来越重要的作用，而且加工过程中，机械精密度会对产品加工质量问题产生直接影响，所以机械的加工问题需要引起足够的重视，防止机械加工过程中产生各种不良因素，毕竟机械加工会受到外界各种因素的影响，从而使机械加工的实际数据与图纸设置数据具有较大的差异，不利于机械的正常使用，所以在实际的机械加工中，要积极的对加工误差进行分析，详细的对技术误差问题进行探索，以便采取更加有效的手段促进带动机械加工行业的持续发展。

简介：摘要:目的探究脑梗死患者CT与MRI诊断价值及对准确率的效果。方法:选取老年脑梗死者进行研究，共计80例，研究开始时间是2019年1月，结束时间是2020年12月，所有患者在入院以后，采用CT诊断、MRI诊断，不同方式的诊断准确率对比分析。结果:MRI诊断病灶大小、病灶数量的检出情况均高于CT诊断，差异P

简介：摘要：改革开放以来，我国经济发展迅速，煤炭企业为我国发展做出了很大贡献。煤炭在人们的生活工作中无处不在，为人们的生活带来了极大的便利。只有合理地、有效地使用煤炭才能造成更大的经济效益。煤矿公司需要对煤炭的质量进行严格的检测，来确定煤炭的质量水平；准确的煤质检测，可为煤炭企业产生巨大的经济效益。并且煤炭质量的检测是非常需要技术性的一项任务，这是因为它在分析检测中很容易受一些因素的影响，容易产生误差同时难以确保分析数据的准确性。

简介：摘要：本文以对建筑领域政策有关实施现状调查为例，分析了调查过程中潜在得误差及相应控制方法。

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简介：摘要：原油计量是否准确，直接影响企业的效益和信誉。原油计量是一个复杂的系统工程，本文探讨了原油计量误差是如何产生的，据此分析了原油计量误差的影响因素，并提出了减小原油计量误差的对策，即选用计量准确度较高的计量仪器、降低取样带来的误差、改进高含水测量不准的问题、加强流量计检定和运行过程的管理、选择合适的计量人员等。

简介：摘要：随着我国市场经济的繁荣与社会的不断发展，综合国力得到了极大的增强，使得衡器在贸易结算、安全防护、医疗卫生等行业中的需求与应用越发广泛，为了能够保证衡器作为合格准确的检测计量器具的使用效果，有必要针对衡器检定的方法和误差控制进行科学的分析，切实做好检定这项重要的工作内容。在检定工作的过程中，按照检定规程的要求，对衡器检定方法进行科学合理的选择，保证其计量性能在规定的允许误差范围内进行工作，保证其能够实现理想的计量效果，从而促进我国经济的节能降耗和可持续发展，这是深化衡器检定方法及误差分析的重要意义。

简介：摘要目的探讨视觉学习疗法对准分子激光角膜屈光手术患者术后视力恢复的影响。方法2018年6月至2019年6月选取在该院眼科行准分子激光角膜屈光手术患者320例，根据随机数字表将患者分为观察组和对照组，各160例。对照组行常规健康指导，观察组术后给予视觉学习疗法，比较两组视力恢复情况、近视屈光度变化及治疗前后生活质量。结果观察组裸视力及屈光度优于对照组，差异有统计学意义(P<0.05)。观察组干预后健康调查量表(SF-36)各维度评分高于对照组，差异有统计学意义(P<0.05)。结论视觉学习疗法能有效促进准分子激光角膜屈光手术患者术后视力恢复，提高患者生活质量。

简介：摘要：新时期，社会科技的进步使得更多新型的电子设备开始进入到生活生产领域中，机械设备系统的运转离不开电子元器件，电子元器件作为机械设备的基础组成部分，一旦出现质量问题，则容易对企业的生产经营带来负面影响。本文结合电子元器件检测的方法以及常见的误差进行分析，旨在提高电子元器件检测的效率，减小检测的误差。

简介：摘 要：目前我国的压力容器在检测的过程中经常出现误差的情况，导致这种情况的原因有很多种，无论是环境的问题还是技术人员的错误操作都是造成检测误差的主要原因。虽然我国现阶段的压力容器检测技术已经发展的较为成熟，相关设备技术也取得了很好的发展，但是检测误差这一情况始终没有很好的办法解决，这在很大程度上限制了压力容器的正常工作进行。本文主要分析了压力容器检测误差所造成的影响性以及造成的误差分析，探讨了对压力容器检验误差的处理方式，希望能为检测人员提供一些建议和帮助。

简介：摘要：由于1-1、2-2煤煤层压差及采煤生产接续紧张等原因，1-1煤105工作面既是1-1煤104综采工作面的接续面，也是解放2-2煤217工作面的关键，因此，快速形成105工作面至关重要，所以，生产技术部门修改掘进方案：连采一队与连采二队同时相向掘进、对向贯通105工作面顺槽。

简介：摘要：房产测绘即应用专业测绘仪器、技术或方法，对房屋、土地及房地产等实施科学测量，以获取准确的位置、权属、数量及质量等数据信息。在住房制度改革持续推进的背景下，房产测绘成果是重要的管理与交易依据，必须注重其准确性，避免外部因素引发的测绘误差，减少房产测绘领域的纠纷问题。因此，应重点加强房产测绘工作质量，做好房产测绘误差问题的防范。