简介:SEMandPositronAnnihilationTechnologyInvestigationontheDefectChangewithThermalTreatmentTemperatureinGaP①②ZHANGFujia,SHAOJiafen...
简介:应用材料公司推出AppliedSEMVisionG5系统,进一步提升其在缺陷检测扫描电子显微镜(ScanningElectronicMicroscope,简称SEM)技术的领导地位,这是首款可供芯片制造商用于无人生产环境的缺陷检测工具,能拍摄并分析20纳米影响良率的缺陷。
SEM and Positron Annihilation Technology Investigation on the Defect Change with Thermal Treatment Temperature in GaP
应用材料为20nm制程开发自主式缺陷检测SEM