简介:深圳雷地科技实业公司收到中国人民解放军总装备部航天医学工程研究所的感谢信,感谢雷地公司“协作配套研制的产品参加了我国首次载人航天飞行任务。在神舟五号飞船测试、发射、运行和回收的各个阶段,产品性能稳定,工作正常,有力地配合了我所圆满完成本次意义重大的参试任务。”原来,航天员杨利伟头盔面罩上的“保护膜”及宇航服上金属部件的表面处理,就是雷地公司研制完成的。
简介:提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。