简介:摘要:随着微机械加工技术的不断提高,MEMS器件生产工艺也随之得到不断开发与完善。而刻蚀技术是MEMS器件生产过程中的关键技术与核心环节,本文就湿法、干法刻蚀分析了代表性的氢氟酸腐蚀刻蚀和ICP刻蚀方法,就其特点和应用进行列比分析,并结合MEMS器件工程项目生产实际提请建设性意见。
简介:震源定位是微地震监测关键技术之一。本文提出用于微地震定位的弹性波和加权弹性波(WEW)干涉成像方法。该方法在保证定位精度的同时,还可避免震源假象。通过各向同性水平层介质状模型的数值试验,初步表明该方法可适应低信噪比微震信号、速度随机扰动、较稀疏的检波器分布等情况,并在速度模型存在一定的系统误差时也仍保持较高的定位精度。由于干涉成像方法不需要进行初至拾取,定位效率相对传统走时方法也得到了提高。采用二维断层模型试算Nnumericalresultsofusingatwo-dimensionalfaultmodel,表明方法还能实现多震源定位,且比逆时成像有更高的定位精度。
简介:尾波是持续时间比主要波型长得多的多重散射波,它包含了直达波之外的部分有用信号。在油气田的开采过程中,由储层物性参数的微小变化而导致的储层速度的微小变化对初至的影响很小,无法通过初至变化直接观测,但是因为尾波为多重散射波,故储层速度的微小变化会在尾波的传播过程中被放大,因此利用尾波可以观测到这种变化。本文通过实验与数值模拟研究了尾波干涉方法在储层微小时移差异监测方面的有效性。合成地震数据是基于部分MarmousiII模型采用有限差分波动方程正演方法计算获得,为了模拟时移地震中的储层波速变化,在模型中选取波速发生微小变化的目标区,计算速度扰动前后的合成地震数据,进而观测尾波变化。研究表明利用尾波干涉可检测储层物性的微小变化,为时移地震信号监测提供新的方法和手段,从而提高时移监测的准确度,也为开发生产工作提供可靠的指导。
简介:在本项研究中,我们对位于haraz山谷内Alborz山脉(伊朗)中部的kahrod滑坡的表面位移,进行了时空演变的量化和分析。这种滑坡对主排水轴线及其众多次级构造造成了威胁。我们基于全球定位系统安装3套位移矢量计。采用一种具有8个基准点的网络在一年期调查基础上监测了四次。这种网络准确地提供了滑坡内部的准确位移速率信息,并解决了由于滑坡推力而施加在山坡下部山丘和斜坡的机械阻力问题。然后,加密了这种网络(共57个基准点),并在6个月内采用快速静态方法测量两次。这取决于对整个滑坡的地表变形进行更精细描述。最终,产生一种1年时间序列的永久性GPS记录并与降雨量进行对比。此外,我们分析了同时期内Envisat卫星雷达差分干涉(DInSAR)图像并作为永久GPS数据。根据这些测量数据可精确地确定当前滑动区的范围,并描述滑坡地表位移的空间和时间演变。大地测量和实地观察相结合可以精确描述Kahrod滑坡过去和现在的运动特征。滑体堆积物的复杂特征表明,在滑动初期后是灾难性的滑坡。在变形监测期间,山体滑坡变形比较稳定,降雨和变形I幅度之间的短期相关性仍需进一步证实。根据滑体、滑床的GPS和InSAR数据可提供关于滑坡主要激活过程(河流侵蚀、渗流、地震和基岩山体前缘失稳等)及其潜在因果关系方面的基本信息。
简介:利用常规合成孔径雷达干涉测量技术(InSAR)和永久散射体干涉测量技术,对在2003至2010年问获取的23幅ENVISAT合成孔径雷达(SAR)图进行处理,以调查墨西哥莫雷利亚市地面沉降的时空分布模式。这些沉降区以地下水超采导致的集中圆形模式(例如格兰德河曲流区域;最大变形为7-8cm/yr)分布,或者以沿东北.西南或东一西向以及与主要断层平行方向延伸的模式分布(例如LaColina、LaPaloma和CentralCamionera断层;最大变形为4-5cm/yr)。在一些主要正断层上盘区也测量出较高的沉降速率,而在这些断层上盘区出露的第四系可压缩沉积层序厚度最大。横跨主要断层鉴别出明显的沉降速率差异,这表明这些断层起到地下水水平运动的阻挡层的作用。沉降速率与可压缩沉积层总厚度之间显示弱正相关性,而与抽水速率或静水位变化之间无任何相关性。利用常规InSAR对地面变形进行的延时分析揭示了LaColina断层和格兰德河曲流区北部地面沉降随时间的变化。对于格兰德河曲流区,InSAR测量的横剖面和三维视图以及沉降速率随时间变化的分析结果表明,沉降速率自2005年以来开始增大;这与PradosVerdesII井的再次下套管有关,因为该井井位处于最大沉降区中部。